Vahvli käitlemise lõpp -efektor

Vahvli käitlemise lõpp -efektor on robotikäsi tüüp, mis on loodud spetsiaalselt pooljuhtide tööstusele, mida tavaliselt kasutatakse käsitsemiseks ja ülekandmiseksvahvlerid. Vahvlite tootmiskeskkond nõuab äärmiselt suurt puhtust, sest pisikesed osakesed või saasteained võivad töötlemise ajal põhjustada laastude ebaõnnestumist. 

Nende käte valmistamisel kasutatakse nende suurepäraste füüsikaliste ja keemiliste omaduste tõttu laialdaselt keraamilisi materjale.

Puhtus ja kompositsioon

Alumiiniumoksiidi puhtus on tavaliselt ≥99,9% ja metalli lisandid (näiteks MGO, CAO, SiO₂) kontrollitakse 0,05% kuni 0,8%, et parandada vastupidavust plasma söövitamisele.

α-faasi alumiiniumoksiid (korundi struktuur) on peamine, kristallitüüp on stabiilne, tihedus on 3,98 g/cm³ ja tegelik tihedus pärast paagutamist on 3,6 ~ 3,9 g/cm³.

Mehaaniline omadus

Karedus: Mohsi kõvadus 9 ~ 9,5, Vickersi kõvadus 1800 ~ 2100 HV, kõrgem kui roostevabast terasest ja sulamist.

Paindetugevus: 300 ~ 400 MPa, mis talub vahvli kiire käitlemise mehaanilist pinget.

Elastne moodul: 380 ~ 400 GPA, tagamaks, et käitlemisvars on jäik ja seda pole lihtne deformeeruda.

Termilised ja elektrilised omadused

Soojusjuhtivus: 20 ~ 30 W/(M · K), säilitage endiselt stabiilne isolatsioon (takistus> 10⁴ ω · cm).

Temperatuurikindlus: Pikaajaline kasutamise temperatuur võib ulatuda 850 ~ 1300 ℃-ni, mis sobib vaakumi kõrge temperatuuriga keskkonnaks.

Pinnaomadus

Pinnakaredus: RA≤ 0,2 μm (pärast poleerimist), et vältida vahvli kriimustusi

Vaakum adsorptsiooni poorsus: Isostaatilise pressimise teel saavutatud õõnes struktuur, poorsus <0,5%.

Teiseks, konstruktsioonidisaini funktsioonid

Kerge ja tugevuse optimeerimine

Integreeritud vormimisprotsessi abil on kaal ainult 1/3 metallvarrest, vähendades inertsusest põhjustatud positsioneerimisviga.

Lõppfektor on konstrueeritud haaratsite või vaakum neeldujana ja kontaktpind on kaetud antistaatilise kattega, et vältida vahvli saastumist 710 elektrostaatilise adsorptsiooni abil.

Reostuskindlus

Kõrge puhtus on keemiliselt inertne, ei vabasta metalliioone ja vastab poolf47 puhtuse standardile (osakeste reostus <10 ppm).

Kolmandaks, tootmisprotsessi nõuded

Moodustamine ja paagutamine

Isostaatiline pressimine (rõhk 200 ~ 300 MPa), et tagada materjali tihedus> 99,5%.

Kõrge temperatuuriga paagutamine (1600 ~ 1800 ℃), tera suuruse juhtimine 1 ~ 5 μm, et tasakaalu ja sitkus tasakaalustada.

Täppismahhanimine

Teemant lihvimise töötlemine, mõõtmete täpsus ± 0,01 mm, lamedus ≤ 0,05 mm/m

Semikoon Tootepoed: