Keraamiline elektrostaatiline padrun

Pooljuhtide tootmisprotsessid, eriti vahvlite töötlemine, viiakse läbi vaakumkeskkonnas ja vahvlite mehaaniliselt kinnitatakse 

teatud riskid. Kui jõud on koondunud klambripunktile, võivad rabedad räni vahvlid heita pisikesi fragmente, põhjustades vahvli tootmisele tõsist kahju.

Sel juhul muutub keraamiline elektrostaatiline paks paremaks valikuks, mis fikseerib vahvli elektrostaatilise jõu abil. Elektrostaatiline jõud toimib ühtlaselt vahvlil, nii et vahvli saab kindlalt fikseerida, parandades protsessi täpsust.

Asjakohaste uurimistööde kohaselt on keraamilisel elektrostaatilisel padrunil tugevam imemine kui teistel elektrostaatilistel padrudel. Näiteks on keraamilisel elektrostaatilisel padrunil palju tugevam imemine kui lemmikloomakile elektrostaatiline padrun.

Keraamika Chuck on tavaliselt valmistatud suure jõudlusega keraamilistest materjalidest nagu Al2O3, ALN või SIC, millel on kõrge kuumuskindlus, isolatsioon ja korrosioonikindlus. Poorne sic-keraamiline padrun ei ole mitte ainult ekstreemsetel temperatuuridel stabiilne, vaid takistab ka keraamilise e-näpunäite lagunemist keemiliste reagentide ja plasma söövitamise tõttu tootmisprotsessi ajal.

Temperatuurikontroll: Keraamiliste materjalide kõrge soojusjuhtivus ja stabiilsed soojuslikud omadused võimaldavad alumiiniumoksiidi keraamilise vaakum -padrunit temperatuuri tõhusalt kontrollida, optimeerides sellega temperatuuri jaotust protsessi ajal.

Vaakumi kohanemisvõime: Keraamiline elektrostaatiline paks sobib tolmuimejaks, eriti madala rõhu ja ülitäpse söövitusprotsesside korral.

Madal osakeste genereerimine: Poorse sic-keraamilise e-chuckiga on sile, mis võib vähendada osakeste saastumist vahvli fikseerimise ajal ja aidata parandada toote saaki.

Rakendus: peamiselt kasutatud pooljuhtide tootmisel, eemaldatavas keraamilises elektrostaatilises padrunis, pakkudes täpset positsioneerimist ja stabiilsust, mis on väga kasulik litograafia, söövitamise ja muude pooljuhtide vahvlite töötlemise tootmisprotsesside jaoks. Veenduge, et vahvel on töötlemise ajal puutumatu ja parandada kiibi tootmise kvaliteeti.

See pooljuhtKeraamilised e-chucki tootmispoed: