Alumiiniumoksiidi keraamiline vaakum Chuck

Alumiiniumoksiidi keraamiline vaakum Chuck on pooljuhtide töötlemisel epitaksiaalsete protsesside vahvlihoidja. See on peamine tööriist vahvlite stabiliseerimiseks ja epitaksiaalsete kihtide ühtlase kasvu tagamiseks. Seda kasutatakse laialdaselt epitaksiaalsetes seadmetes, näiteksMocvdjaLPCVD.

Veteki pooljuhtide alumiiniumoksiidi keraamiline vaakum Chuck mängib olulist rolli pooljuhtide tootmise vahvli hõrenemis- ja lihvimisjärgus. Need etapid hõlmavad täpselt vähendamistvahvlisubstraatKiibi soojuse hajumise suurendamiseks, mis on oluline pooljuhtide seadmete tõhususe ja eluea parandamiseks.

Ühildub mitme vahvli suurusega: Veteki pooljuhtide alumiiniumoksiidi keraamiline vaakumkaht on loodud mitmesuguste vahvlite suuruste toetamiseks, sealhulgas 2, 3, 4, 5, 6, 8 ja 12 tolli. See kohanemisvõime muudab selle sobivaks mitmesugusteks pooljuhtide tootmiskeskkondadeks, tagades järjepideva ja usaldusväärse jõudluse erinevates vahvlite suuruses.

Kõrgema materjali kompositsioon: Alumiiniumoksiidi keraamilise vaakumpüünise alus on valmistatud ultrapuurist 99,9999% alumiiniumoksiidist (AL₂O₃), mis pakub suurepärast vastupidavust keemilisele rünnakule ja termilisele stabiilsusele. Chucki pind on valmistatud poorsestRänikarbiid (sic). Poorsel keraamilisel materjalil on tihe ja ühtlane struktuur, mis parandab selle vastupidavust ja jõudlust.

KasuPoorne keraamiline tehnoloogia：

Materiaalne puhtus ja vastupidavus: Meie alumiiniumoksiidi keraamiline vaakumpüük on valmistatud 99,99% -st puhtast alumiiniumist vastu keemilise rünnaku ja pakub suurepärast termilist stabiilsust, muutes selle ideaalseks äärmiselt nõudlikeks tootmiskeskkondadeks.

Optimaalne poorsus ja õhu läbilaskvus: Ühtlaselt jaotunud mikropoorid pakuvad suurepärast õhu läbilaskvust ja ühtlast adsorptsioonijõudu, mille tulemuseks on sujuv ja ühtlane töö.

Suurenenud tasasus ja paralleelsus: Mikropoorsed alumiiniumoksiidi keraamilised vaakumpüürid on suurepärase ja paralleelsusega, tagades täpse vahvli käitlemise ja stabiilsuse.

Kohandatud teenuse võimalused: Veteksemi võib pakkuda mitmesuguseid kohandatavaid kujusid, sealhulgas ümmargused, ruudukujulised, rõngad ja muud kujundused, paksus vahemikus 3 mm kuni 10mm. See kohandamine tagab, et meie alumiiniumoksiidi keraamilised vaakumpunktid vastavad erinevate pooljuhtide tootmisprotsesside konkreetsetele vajadustele ja on kindlasti teie ideaalne valik.

Vetek Semiconductor on pühendunud pooljuhtide tööstusele arenenud tehnoloogia ja tootelahenduste pakkumisele ning loodame siiralt olla teie pikaajaline partner Hiinas.

SelleKeemiline valemalumiiniumoksiidi keraamika：

See pooljuhtAlumiiniumoksiidi keraamilised vaakumpoed: