Poorsed sic -keraamilised padrunid

Veteksemiconi pakutavad poorsed SIC-keraamilised padrunid on valmistatud kõrge puhtusega poorsest räni karbiidist (SIC), see keraamiline patuk tagab gaasi ühtlase voolu, suurepärase tasasuse ning soojuse stabiilsuse suure vaakumi ja temperatuuri tingimustes. See sobib ideaalselt vaakumklambrisüsteemide jaoks, kus kontaktivaba, osakestevaba vahvli käitlemine on kriitiline.

Ⅰ. Peamised materjali omadused ja jõudluse eelised

1. Suurepärane soojusjuhtivus ja temperatuurikindlus

Ränikarbiid pakub kõrget soojusjuhtivust (120–200 mass/m · k) ja talub töötemperatuuri üle 1600 ° C, muutes padruni ideaalseks plasma söövitamiseks, ioonitala töötlemiseks ja kõrge temperatuuri ladestumisprotsessideks.

ROLL: tagab ühtlase kuumuse hajumise, vähendades vahvli lõime ja parandades protsessi ühtlust.

2. kõrgem mehaaniline tugevus ja kulumiskindlus

SIC -i tihe mikrostruktuur annab Chucki erakordsele kõvadusele (> 2000 HV) ja mehaanilise vastupidavuse, mis on oluline vahvli laadimise/mahalaadimise tsüklite ja karmide protsessikeskkondade korduvateks korduvateks.

ROLL: pikendab Chucki eluiga, säilitades samal ajal mõõtmete stabiilsuse ja pinna täpsuse.

3. kontrollitud poorsus ühtlase vaakumi jaotuse jaoks

Keraamilise peeneks häälestatud poorne struktuur võimaldab vahvli pinnal järjepidevat vaakumi imemist, tagades vahvli turvalise paigutuse minimaalse osakeste saastumisega.

ROLL: suurendab puhta ruumi ühilduvust ja tagab kahjudeta vahvli töötlemise.

4. suurepärane keemiline vastupidavus

SIC inerts söövitavate gaaside ja plasmakeskkondade suhtes kaitseb padrunit reaktiivse ioonide söövitamise või keemilise puhastamise ajal lagunemise eest.

ROLL: minimeerib seisakuid ja puhastussagedust, vähendades tegevuskulusid.

Ⅱ. Veteksemiconi kohandamine ja tugiteenused

Veteksemiconis pakume täielikku spektrit kohandatud teenuseid, et rahuldada pooljuhtide tootjate nõudmisi:

● Kohandatud geomeetria ja pooride suuruse kujundus: Pakume erineva suuruse, paksusega ja pooride tihedusega, mis on kohandatud vastavalt teie seadme spetsifikatsioonidele ja vaakumnõuetele.

● Kiire pöörde prototüüpimine: Lühike tarneajad ja madal MOQ -i tootmise tugi teadus- ja arendustegevuse ja pilootliinide jaoks.

● Usaldusväärne müügijärgne teenus: Alates paigaldamise juhendamisest kuni elutsükli jälgimiseni tagame pikaajalise jõudluse stabiilsuse ja tehnilise toe.

Ⅲ. Rakendused

● Söövimis- ja plasma töötlemisseadmed

● ioonide implanteerimine ja lõõmutamiskambrid

● Keemilise mehaanilise poleerimise (CMP) süsteemid

● Metroloogia- ja kontrolliplatvormid

● Vaakumi hoidmis- ja klambrisüsteemid puhta ruumi keskkonnas

VEKEKEMICONI POODEPOOD: