Vaakumpüün

Rakendus: 

Kõrge tõhususega vaakum Chuck on välja töötatud vahvlite ja valuplokkide täpseks adsorptsiooniks ja kindlaks fikseerimiseks. See sobib hästi olukordadeks, sealhulgas pooljuhtide tootmiseks, vahvli lõikamiseks, täpse töötlemise, kõrge temperatuuri epitaksia, söövitamise ja ioonide implantatsiooni jaoks.

Põhiparameetrid:

● Reguleeritav poorsus (vahemikus 10–200 μm).
● Võimeline taluma kõrgeid temperatuure (kuni ≤1600 ° C) ja millel on suurepärane termiline šokk vastupidavus.
● Adsorptsiooni vaakum: standard on - 90 kPa (kohandatav 100kPa -ni).

● Imemistassi mõõtmed: võib toetada 4/8/8/12 - tolliseid vahvleid ja valuploki suurust saab kohandada vastavalt konkreetsetele vajadustele.

Ⅰ. Kirjeldus

Veteksemiconi keraamiline vaakum Chuck kasutab poorse keraamilise ja metallist välimise rõnga kombineeritud struktuuri. Õhukanalite ja pooride isikupärastatud kujunduse kaudu realiseerib see adsorptsioonijõu ühtlase jaotuse ja kõrge stabiilsuse. See Chuck sobib pooljuhtide tootmiseks, vahvli lõikamiseks, täpse töötlemise jms jaoks. See võib töötada kõrgel temperatuuril ja suure kiirusega liikumise seadetes ning vastab erineva suurusega vahvlite/valuvaldkondade ühilduvusnõuetele.

Ⅱ. Põhistruktuur ja materiaalsed eelised

Mitmekihiline komposiitpaigutus:

✔ Pinnakiht: Valmistatud poorsest keraamikast (võite valida poorse räni karbiidi või poorse grafiidi vahel). Pooride läbimõõtu saab reguleerida (10–2 200 μm), mis tagab, et adsorptsioonijõud kantakse ühtlaselt vahvli pinnale, takistades sellega kohalikku pinget.

✔ maatriks: Koosneb väga jäigast metallraamist (kas roostevabast terasest või alumiiniumist sulamist), et pakkuda konstruktsiooni ja õhukindlust.

✔ hingamisteed ja poorid: Täpselt töödeldud sisemised hingamisteed moodustavad võrgu koos ühtlaselt paigutatud mikropooridega. See seadistus toetab kiiret vaakumi ekstraheerimist (adsorptsioonijõud võivad jõuda kuni 90 kPa) ja kohese vabanemisega.

Ⅲ . MA võrdlusteeriaomadused

1. Materjali omaduste võrdlus

2. rakenduse stsenaariumid ja juhtumid

✔ Pooljuhtide kangast

Epitaksiaalne kasv: see võib kindlalt adsorbeeruda vahvleid kõrgetel temperatuuridel, takistades vahvleid väändumast ja saastumist.

Litograafia ja söövitus: see võimaldab täpset positsioneerimist suurel kiirusel liikuvatel platvormidel (kiirendus ≤10g), tagades graafilise joondamise täpsuse.

✔ Valuvaigistite töötlemine

Lõikamine ja lihvimine: see võib adsorbeerida raskeid valuplokke (näiteks safiiri ja räni - karbiidi valuplokke), vähendades vibratsiooni tõttu serva pragunemist.

✔ Teadusuuringud ja spetsiaalsed tehnoloogiad

Kõrge - temperatuuri lõõmutamine: poorsed räni - karbiidi iminaitsid võivad töötada pidevalt temperatuuril 1600 ° C ilma deformatsiooni või õhutamiseta reostust.

Vaakumkatted: kõrge õhu tiheduse kujundusega saab see kohaneda PVD/CVD õõnsusega keskkonnaga.

3. kohandatud teenus

✔ Pakume suuruse ja koormuse kohandamist.

✔ Stomata ja hingamisteed saab optimeerida vastavalt konkreetsetele nõuetele.

✔ Seda saab kohandada spetsiaalse keskkonnaga.

Ⅳ. KKK:

Kuidas saavutavad vaakumpuhastused mitme suurusega vahvli ühilduvuse (nt 12/8/6 ")?

K: Kuidas sobib üksik padrun samal ajal 12-tolliseks, 8-tolliseks ja 6-tolliseks vahvliks? Kas füüsiline ümberkorraldamine on vajalik?

V:Mitmemõõtmeline ühilduvus adaptiivsete hingamisteede ja stomataalse jaotuse kaudu:

✔ Dünaamiline stomataalne kontroll: Imetaja pinnal olevad stomaadid jaotatakse rõngapiirkonnas ja erinevates piirkondades oleva õhuahelaga kontrollib väline klapp.

Näiteks 8-tollise vahvli absorbeerimisel on lubatud ainult keskosas olevad poorid ja välimised poorid on suletud (adsorptsioonijõu lekke vältimiseks).

✔ Paindlik hingamisteede kujundus: Sadamavõrgul on moodul paigutus, mis vastab erineva suurusega vahvlite servaprofiilidele, et tagada ühtlane adsorptsioonijõu katvus. ja Eelised on järgmised:

Nullriistvara asendamine: iminapsu eemaldamist ega asendamist ei saa tarkvara või gaasiklapi lüliti kaudu kohandada erineva suurusega.

Kulude kokkuhoid: vähendage seadmete renoveerimiskulusid ja seisakuid ning suurendage tootmisliinide paindlikkust.