Grafiidi pöörlev tugi

Epitaksiaalse kasvuprotsessi jaoks on vahvli vastuvõtja kohustuslik. Epitaksiaalse kasvu ajal asetatakse vahvlisubstraat vastuvõtjasse. VETEKi pooljuhtide kõrge puhtusastmega grafiidi pöörlevaid retseptoreid kasutatakse materjali töötlemisseadmetes kõrgel temperatuuril ja kõrge vaakumkeskkonnas. Galliumnitriidi (MOCVD protsess) epitaksiaalse kasvu korral mängivad nad substraadi rotatsiooni toetavat rolli. Vetek Semiconductori pöörleval grafiidiotsijatel on järgmised eelised:

● Suur puhtus: Lisatunnus sisalduv kõrge puhtusastmega grafiidi pöörlevates vastuvõtjates on alla 5 ppm. See puhtuse grafiidi tase võib vältida lisandite vabanemist kõrgel temperatuuril, et tagada ladestumisprotsessi puhtus. Seetõttu ei ole töönõuete täitmiseks vaja kattekihti.

Kõrge puhtus grafiidi

● Suurepärased termilised omadused: Kõrge puhtusastmega grafiidil on suurepärane soojusjuhtivus ja selle soojusjuhtivus on palju suurem kui teistel materjalidel. Soojuspaisumistegur on väike ja suudab temperatuurimuutuste korral säilitada stabiilse jõudluse.

● Head mehaanilised omadused: Kõrge puhtusastmega grafiidil on hea kulumiskindlus ja sitkus, mis võib vastata CVD protsessi keerukatele nõuetele.

● Suurepärane juhtivus: Juhtivus on sada korda suurem kui üldistel mittemetallilistel mineraalidel.

● Keemiline stabiilsus.

Lisaks pakub Vetek Semiconductor ka juhtiva puhtusega grafiidi pöörleva vastuvõtja juhtiva tootja ja tarnijana ka kvaliteetset pooljuhtSIC kaetud grafiidi vastuvõtja MOCVD jaoks, SIC kaetud tünnide vastuvõtja, TAC -kaetud grafiidi tugijaMOCVD SIC -katte vastuvõtja.Vetek Semiconductor on pühendunud pooljuhtide tööstusele arenenud tehnoloogia ja tootelahenduste pakkumisele ning toetab ka kohandatud teenuseid. Ootame siiralt, et saaksime Hiinas teie pikaajaliseks partneriks.

See pooljuhtGrafiidi pöörlevad vastuvõtja tootepoed: