TaC kaetud grafiitvastuvõtja

Olete teretulnud tulema meie tehasesse VeTek Semiconductor, et osta uusim müüdud, madala hinnaga ja kvaliteetse TaC-kattega grafiidisusceptor. Ootame teiega koostööd.

Tantaami karbiid -keraamilise materjali sulamistemperatuur kuni 3880 ℃, on ühendi kõrge sulamistemperatuur ja hea keemiline stabiilsus, selle kõrge temperatuuriga keskkond võib endiselt säilitada stabiilse jõudluse, lisaks on sellel ka kõrge temperatuurikindlus, keemiline korrosioonikindlus, hea keemiline keem ja mehaaniline ühilduvus süsinikmaterjalide ja muude omadustega, muutes selle ideaalseks grafiidi substraadi kaitsematerjaliks. Tantalumi karbiidikate võib grafiidi komponente tõhusalt kaitsta kuuma ammoniaagi, vesiniku ja räni auru ja sulametalli mõju eest karmides kasutatavas keskkonnas, pikendab märkimisväärselt grafiidi komponentide kasutusaega ja pärsib impuuride migratsiooni grafiidis, mis on migratsioon, mis on ränne, ( Epitaksia ja kristallide kasvu kvaliteedi tagamine. See kasutatakse peamiselt märjas keraamilises protsessis.

Keemiline aurude ladestumine (CVD) on kõige küpsem ja optimaalne ettevalmistusmeetod tantaalkarbiidkatte jaoks grafiidi pinnal.

CVD TaC katmismeetod TaC-ga kaetud grafiidisusseptori jaoks:

Katmisprotsessis kasutatakse süsinikuallikana ja tantaaliallikana vastavalt TaCl5 ja propüleeni ning kandegaasina argooni, et viia tantaalpentakloriidi aur reaktsioonikambrisse pärast kõrgel temperatuuril gaasistamist. Sihttemperatuuri ja -rõhu all adsorbeerub lähteaine aur grafiidiosa pinnale ning toimub rida keerulisi keemilisi reaktsioone, nagu lagunemine ja süsinikuallika ja tantaaliallika kombinatsioon. Samal ajal on kaasatud ka rida pinnareaktsioone, nagu prekursori difusioon ja kõrvalsaaduste desorptsioon. Lõpuks moodustub grafiitosa pinnale tihe kaitsekiht, mis kaitseb grafiitosa stabiilsuse eest ekstreemsetes keskkonnatingimustes. Grafiitmaterjalide kasutusstsenaariume laiendatakse oluliselt.

TaC-ga kaetud grafiidisusceptori tooteparameeter:

Tootmispoed:

Ülevaade pooljuhtkiibi epitaxy tööstusahelast: