SiC-kattega pannkoogi susseptor LPE PE3061S 6'' vahvlitele

Professionaalse tootjana soovib Vetek Semiconductor pakkuda teile LPE PE3061S 6 '' Wafersi jaoks kvaliteetset SIC -kattega pannkoogioperaatorit.

VeTeK Semiconductor SiC kaetud pannkoogi susceptor LPE PE3061S 6" vahvlitele on pooljuhtide tootmisprotsessides kasutatav kriitiline seade.

SIC -i kaetud pannkoogioperaator LPE PE3061S 6 "Wafersi tooteomadused:

Kõrge temperatuuri stabiilsus: ränikarbiidil on suurepärane kõrge temperatuuri stabiilsus, säilitades oma struktuuri ja jõudluse kõrge temperatuuriga keskkondades.

Silmapaistev soojusjuhtivus: SiC-l on erakordne soojusjuhtivus, mis võimaldab kiiret ja ühtlast soojusülekannet kiireks ja ühtlaseks kuumutamiseks.

Korrosioonikindlus: SiC-l on suurepärane keemiline stabiilsus, mis on vastupidav korrosioonile ja oksüdatsioonile erinevates küttekeskkondades.

Ühtne kuumutusjaotus: SIC-kattega vahvli kandja tagab ühtlase kuumutamise jaotuse, tagades kütte ajal ühtlase temperatuuri kogu vahvli pinnal.

Sobib pooljuhtide tootmiseks: Si epitaksivahvli kandjat kasutatakse laialdaselt pooljuhtide tootmisprotsessides, eriti Si epitaksi kasvu ja muude kõrge temperatuuriga kuumutamisprotsesside jaoks.

Toote eelised:

Tootmise parem efektiivsus: SIC-kattega pannkookide vastuvõtja võimaldab kiiret ja ühtlast kuumutamist, vähendades kütteaega ja suurendades tootmise tõhusust.

Tagatud tootekvaliteet: ühtlane kuumutusjaotus tagab vahvlite töötlemisel järjepidevuse, mis parandab toote kvaliteeti.

Pikendatud seadmed eluiga: SIC -materjal pakub suurepärast soojustakistust ja keemilist stabiilsust, aidates kaasa pannkoogide vastuvõtja pikemale elueale.

Kohandatud lahendused: SIC-kattega vastuvõtja, Si Epitaxy vahvli kandja saab kohandada erineva suuruse ja spetsifikatsioonide järgi, mis põhinevad kliendi nõuetel.

CVD SiC katte peamised füüsikalised omadused:

VeTeki pooljuhtide tootmispood

Ülevaade pooljuhtkiibi epitaxy tööstusahelast: