Veeco Mocvd küttekeha

VeTeksemi VEECO MOCVD kütteseade on valmistatud kõrge puhtusastmega grafiitmaterjalist, mille lisandite sisaldus on rangelt kontrollitud alla 5 ppm, ja kaetud ülikõrge puhtusastmega ränikarbiidiga (SiC), mille puhtus on üle 99,99995%.keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) protsess. See materjalide kombinatsioon annab küttekehale rea peamisi omadusi, mis tagavad selle suurepärase jõudlusemetalli orgaaniline keemiline aurustamine-sadestamine (MOCVD)protsessi.

Üks VEECO MOCVD küttekeha silmapaistvaid omadusi on selle erakordne keemiline puhtus. Kõrge puhtusastmega grafiidist südamik vähendab oluliselt saasteainete võimalikku sattumist kõrge temperatuuriga protsessi, tagades ülipuhta kile sadestamise protsessi. TheCVD SiC katepakub kütteseadmele täiendavat kaitset, moodustades tugeva barjääri, et vältida keemilisi reaktsioone, mis võivad kile kvaliteeti kahjustada. See võrratu puhtus on suure jõudlusega ja töökindlate pooljuhtseadmete tootmiseks hädavajalik.

Samal ajal on küttekeha äärmiselt kõrge termiline stabiilsus ja tõhusus. SIC -l on kõrge sulamistemperatuur ja suurepärane soojusjuhtivus, mis võimaldab küttekehal soojust tõhusalt juhtida ja juhtida. See tagab ühtlase kuumutamise kogu substraadil, mis omakorda aitab saavutada kile ühtlase ladestumise ja vähendab soojusgradientide põhjustatud defekte. Selline termiline efektiivsus on eriti oluline täpsuse tootmiseks.

VEECO MOCVD kütteseade paistab silma ka elektrilise jõudluse poolest. Selle kõrge puhtusastmega grafiidist südamikuga on suurepärane elektrijuhtivus, mis võimaldab kütteseadmel toime tulla kõrgete elektriliste koormusnõuetega. See stabiilne elektriline jõudlus võimaldab kütteseadmel säilitada täpse temperatuuri reguleerimise ja sadestumiskiiruse suure koormuse tingimustes, mis on kriitilise tähtsusega ühtsete protsessitingimuste tagamiseks ja pooljuhtide tootmise tõhususe parandamiseks.

Küttekeha pinnakujundus on hoolikalt optimeeritud, et sellel oleks kõrge substraadi kiirgusvõime, mis parandab oluliselt kiirgussoojuse ülekande efektiivsust. Võime ühtlaselt kuumeneda on kile ühtlase paksuse ja omaduste tagamisel võtmetegur. Kõrge emissioonivõimega pinnakujundus parandab ka küttekeha üldist soojustõhusust, vähendades seeläbi energiatarbimist ja töökulusid.

Vastupidavuse osas on Veteksemi Veeco MOCVD küttekehal suurepärane korrosioonikindlus, oksüdatsiooniresistentsus ja mehaaniline tugevus. CVD SIC -kattekiht tagab tugeva takistuse MOCVD -protsessides levinud söövitavatele gaaside ja kemikaalide jaoks, laiendades sellega seadmete eluiga ning vähendades hooldusvajadusi ja asendamiskulusid. Selle oksüdatsiooniresistentsus tagab, et kütteseade püsib kõrgel temperatuuril stabiilsena ilma jõudluse halvenemiseta, tagades pikaajalise stabiilsuse.

Lisaks võimaldab VeTeksemi MOCVD küttekeha kõrge mehaaniline tugevus taluda termilise tsükli ja substraadi käsitsemise käigus tekkivaid füüsilisi pingeid. Selle vastupidavus vähendab mehaaniliste rikete ohtu ja tagab seadmete usaldusväärse töö karmides protsessitingimustes.

Veeco MOCVD küttekehade toodete arenenud tootja ja tarnijana pakub Veteksemi ka mitmesuguseid kvaliteetseid kütteseadmeid, näiteksTAC -kattekütteseade, ränikarbiidist keraamilise kattega grafiitküttekeha, ränikarbiidist keraamilise kattega kütteseadejne. Loodame siiralt olla teie pikaajaline partner Hiinas.