Silikoonkassettpaat

Veteksemiconi pakutav Silicon Cassette Boat on konstrueeritud kaasaegse pooljuhtplaatide valmistamise rangete termiliste, mehaaniliste ja saastetõrjenõuete jaoks. Ülikõrge puhtusastmega monokristallilisest või polüränist valmistatud ja tööstusharu juhtivate puhtusstandardite järgi töödeldud silicon Cassette Boat toimib kriitilise kandesüsteemina vahvlite jaoks, mis läbivad oksüdatsiooni, difusiooni, lõõmutamist ja muid ahjupõhiseid termotsükleid. Selle olemuslikud materjaliomadused – keemiline inertsus kõrgetel temperatuuridel, sobitatud soojuspaisumine räniplaatidega ja äärmiselt madal metalliliste lisandite kontsentratsioon – võimaldavad minimeerida osakeste teket ja termilist pinget, tagades submikronilise ja täiustatud sõlmede tootmiseks olulise ühtluse ja korratavuse.

Vertikaalsetel ja horisontaalsetel ahjuplatvormidel pakub Silicon Cassette Boat täpset vahvlivahet ja stabiilset mehaanilist tuge, võimaldades ühtlast soojusülekannet ja ühtlast gaasivoolu kogu partii ulatuses. Kõrvaldades kvartsi või keraamiliste kandjatega tavaliselt seotud materjalidevahelised vastasmõjud, aitab see kaitsta vahvlipindu saastumise eest pika kõrge temperatuuriga leotamise ajal isegi temperatuuril, mis läheneb 1200 °C-le. Selline materjali joondamine kanduri ja aluspinna vahel vähendab ka libisemisjooni, mikropragusid ja kõverdumist, muutes paadi eriti soodsaks selliste rakenduste jaoks nagu paksu oksiidi kasvatamine, sissevoolu difusioon, kõrge temperatuuriga implantatsiooni lõõmutamine ja toiteseadme epitaksiaalne töötlemine.

Veteksemiconi silikoonkassettpaat, mis on loodud sujuvaks integreerimiseks automatiseeritud laadimissüsteemide, FOUP-ahju ülekandemoodulite ja vahvlite robotkäitlemisega, toetab nii 200 mm kui ka 300 mm tootmiskeskkondi ning vastab tipptasemel ahjude originaalseadmete valmistaja spetsifikatsioonidele. Selle suur mõõtmete täpsus, optimeeritud pilu geomeetria ja täiustatud pinnaviimistlus aitavad kaasa suurepärasele termilisele ühtlusele, väiksematele defektidele ja pikemale tööeale – tegurid, mis suurendavad otseselt protsessi tootlikkust ja seadmete tööaega.

Veteksemiconi materjaliteaduslikule asjatundlikkusele ja rangele kvaliteedijuhtimisele tuginev silicon Cassette Boat tagab stabiilse jõudluse mitme termilise tsükli jooksul, vähese osakeste eraldamise ja prognoositava käitumise nõudlikes kõrge temperatuuriga atmosfäärides, nagu O2, H₂, N2 või inertgaaside segud. Tugevdatud saastetõrjet, prognoositavaid termilisi profiile ja ühilduvust järgmise põlvkonna seadmete tootmisega vajavate rõivaste puhul suurendab silikoonkassettpaat protsessi usaldusväärsust, parandab vahvlitaseme ühtlust ja võimaldab pidevat suuremahulist pooljuhtide tootmist.