Pooljuhtkvaliteediga Quartz Bell Jar

Pooljuhtide klassi kvartspelk on valmistatud kõrge puhtusega kvartsmaterjalist. Sellel on suurepärane termiline stabiilsus ja tugev korrosioonikindlus ning seda kasutatakse paljudes valdkondades. Pooljuhtide tööstuses: pooljuhtide klassi Quartz Bell Jar pakub kontrollitud keskkonda õhukese kilede sadestumiseks vahvlitele keemilise aurude sadestumise ajal (CVD). Pooljuhtide klassi kvartspelli kasutatakse ka vaakumtehnoloogiat vajavates protsessides, näiteks optiliste kattete, metallkatte ja muud tüüpi õhukeste kilematerjalide tootmine. Paljudes füüsilistes ja materiaalsetes teaduskatsetes on vaja ka pooljuhtide klassi kvartspelgi purki, mis nõuavad kõrge puhtuse ja vaakumiga suletud keskkonda.

Pooljuhtide tööstuse kasutusstsenaariumid:

Polysilicon on ränimaterjal, mis koosneb paljudest väikestest teradest, mida kasutatakse laialdaselt integreeritud vooluahelates, päikesepatareides ja muudes väljades. Keemiline aurude ladestumine (CVD) on üks peamisi meetodeid polükristallilise räni valmistamiseks. Põhiprintsiip on see, et räni allikagaas, näiteks SiH4, laguneb kõrgel temperatuuril ja ladestub substraadile, moodustades polükristallilise räni ：

SiHCl3 + H2 ⇒ Si + 3HCl

Kõrge temperatuuri ja vaakumitingimustes juhiti räni allikagaasi keemilisse aurude sadestusse. Lõpuks saadakse polükristalliline räni. Pooljuhtide klassi kvartspurk on polükristallilise räni CVD reaktori oluline osa.

Polükristalliline räni CVD reaktor

CVD kõrge temperatuurireaktsiooni korral võib pooljuhtkvaliteediga kvartskann tagada ühtlase termilise keskkonna. Kõrge puhtusastmega kvartsmaterjali kõrge temperatuuritaluvus (talub kuni umbes 1100 °C temperatuuri) võimaldab sellel CVD-reaktsioonides stabiilselt töötada ja tagada ühtlase temperatuurijaotuse reaktsioonipiirkonnas. CVD-protsessis on palju mürgiseid gaasikomponente, nagu PH3 jne. Pooljuhtkvaliteediga kvartskellapurk suudab tõhusalt isoleerida reaktsioonikambris olevad keemilised gaasid väliskeskkonnast, et vältida kahjulikku gaasileket. Kõrge puhtusastmega kvartsmaterjali korrosioonikindlus võimaldab ka teistel materjalidel CVD-protsessi ajal pikka aega stabiilselt töötada ega ole kergesti korrodeeruv ega kahjustatav.

Kvartsist kellapurki kasutatakse koos kvartsist soojuse säilitustoru ja vertikaalse kvartspaadiga ning seda kasutatakse enamasti pooljuht-integraallülituse kiibi tootmise epitaksiaalprotsessis. Epitaksiaalahjul on üldiselt vertikaalne struktuur, kus vertikaalse kvartspaadi välisküljel on kvartsist kellapurk ja toena kvartsist soojussäilitustoru.

Teine tüüpiline pooljuhtkvaliteediga kvartspaagi kasutamine kõrge temperatuuriga keskkonnas: Ortodontiliste osade partii kuumutamine temperatuurini 704 ℃ 1 sekundi jooksul inertses atmosfääris kõvajoodisjootmiseks:

VeTek Semiconductoril on küps tehniline meeskond. Pole tähtis, mis kuju või materjalist kõrge puhtusastmega kvartskellapurki vajate, saame selle teie jaoks kohandada.

VeTek Semiconductor toodete kauplused: