Kõrge puhtusastmega kvartsist vahvelpaat

Vetek Semiconductori kõrge puhtusega kvartsvahvikpaat on valmistatud ülikõrge puhtusega kvartsist, millel on madala hüdroksüülsisaldusega, kõrge puhtuse ja tugeva kõrge temperatuuri vastupidavuse omadused. Seda materjali kasutatakse laialdaselt ka pooljuhtide tööstuses difusiooniahjude ja CVD ahjude komponentide materjalina. Ränivahvlite kandmise konteinerina on pooljuhtide, fotogalvaaniliste, keemiliste ja muudes põldudes kasutatud kõrge puhtusarja kvartspaadi vahvlit.

Rakenduse stsenaariumid

Esiteks on pooljuhtide väli. Kuumhooldusprotsess on väga oluline, sealhulgas termiline oksüdeerimine, difusioon, lõõmutamine jne. Kuumhooldusprotsessi kaudu anname vahvlitele uusi omadusi.

Paariahju südamiku torusid kasutatakse pooljuhtide vahvlite töötlemise protsesside jaoks, nagu termiline oksüdatsioon, kõrge temperatuuri difusioon, lõõmutamine ja õhuke kile sadestumine. Partii kütteahi kasutatakse peamiselt ahju korpuse kuumutamiseks kuumtöötluse lõpuleviimiseks. Erinevate töökonstruktsioonide kohaselt saab partiiahju südamiku torusid jagada horisontaalseteks ahjudeks ja vertikaalseteks ahjudeks:

(1) Horisontaalse ahju kõrge puhtuse kvartsi vahvlipaat asetatakse horisontaalselt, nii et seda nimetatakse horisontaalseks ahjuks.

Kuumhooldusprotsessis laaditakse vahvel kõrge puhtusega kvartsi vahvli paadile, saadetakse aeglaselt kvarts -ahjude torusse ja vahver asetatakse töötlemiseks konstantsesse temperatuurvööndisse. Pärast protsessi lõpuleviimise ootamist tõmmatakse vahvliga kvartspaat aeglaselt kvartiahjust välja, et vahvli temperatuuri äkiliste muutuste tõttu kahjustada. Horisontaalseid ahjusid kasutatakse laialdaselt integreeritud vooluahelate difusiooniprotsessis, mille vahvli läbimõõt on alla 200 mm. 

Horisontaalahjude eelised on lihtne protsess, vahvlite hea ühtlus ja võimalus töödelda mitut vahvlit korraga. Puuduseks on aeglane kuumutuskiirus, suured seadmete mõõtmed, automatiseerimise raskused ja välisõhu kerge sisenemine vahvlite laadimisel ja mahalaadimisel.

(2) Vertikaalse ahju kõrge puhtusega kvartsi vahvlipaat asetatakse vertikaalselt, nii et seda nimetatakse vertikaalseks ahjuks.

Vahvli laaditakse kvartsitorni ja tõuseb aeglaselt kütteks kvarts -ahju torusse. Kütteprotsessi ajal pöörleb kõrge puhtusega kvartspaat aeglaselt, tagamaks, et vahvli kuumutatakse ühtlaselt. Pärast töötlemist laskub kvartitorn aeglaselt, et vältida temperatuurimuutusi, mis võivad põhjustada vahvli kahjustusi. Vertikaalseid ahjusid kasutatakse peamiselt integreeritud vooluringi protsessis 200 mm ja 300 mm läbimõõduga vahvlites. Vertikaalsete ahjude põhitehnoloogia seisneb ülitäpses temperatuurivälja juhtimises, osakeste juhtimises, mikrokeskkonna mikro-hapniku juhtimises ja motoriseerimises. Vertikaalsete ahjude eelised on õhuke looduslik oksiidikiht, hea ühtlus, kergem automatiseerimine, väikese seadme jalajälg ja partiide töötlemine. Puuduseks on see, et kuumutamiskiirus on aeglane.

Fotogalvaanilises valdkonnas nõuab fotogalvaaniliste elementide tootmisprotsess kvartspaate, et kanda ja transportida räniplaate kõrge temperatuuriga difusiooniprotsessis. Kõrgtemperatuuriline töötlemine kõrge puhtusastmega lämmastiku, hapniku või muu inertgaasi atmosfääris, nagu fosfori difusioon või boori difusioon, on päikesepatareide tootmisprotsessi oluline samm. Eesmärk on moodustada räniplaadile PN-ristmik.

Kvartspaadi sees on täpselt kujundatud pilud tagamaks, et räniplaat säilitab kõrge temperatuuriga difusiooniprotsessi ajal täpse asendi ja on ühtlaselt kuumutatud. Kuna kvartsmaterjalil on hea kõrge temperatuuritaluvus ja keemiline stabiilsus, ei saasta see ränivahvlit, mis aitab säilitada tootmiskeskkonna kõrget puhtust.

Hiina Waferi kasutatud kvartspaatide turu uuendajana ja liidrina, olenemata sellest, kas tegelete pooljuhtide või fotogalvaanilise tööstusega, nii kaua kui vajate kõrge puhtusastmega kvartsvahvelpaati, küsige meilt pakkumist ja me saame kohandada. see teile vastavalt teie vajadustele.

VeTek pooljuht Tootepoed: