Kõrge puhtus kvarts paat

Kõrge puhtusega kvart-paadid on ülitõhukeste puhtusarjade materjalidest valmistatud täppiskandjad (Sio₂ sisaldus ≥ 99,99%), mis on mõeldud kõrgtemperatuuriliste ja kõrgpuhastusega protsesside jaoks. See seade on hädavajalik selliste protsesside jaoks nagu lõõmutamine, difusioon, oksüdeerimine ja keemiline aurude sadestumine (CVD) ning seda kasutatakse laialdaselt pooljuhtidel, fotogalvaanilastel ja muudel põldudel. Selle põhieelis seisneb materjali enda füüsilises ja keemilises stabiilsuses.

Ⅰ. Veteksemiconi suure puiduga kvartspaadi suurepärased füüsilised omadused

Ⅱ. Peamised kasutusalad ja vastavad toote eelised kõrge puhtusega kvartspaadi

1. pooljuhtide tootmine:

Konkreetsed kasutusalad: Kandesööriistad vahvli kõrge temperatuuri difusiooni, oksüdatsiooni, lõõmutamise ja CVD (keemiline aurude sadestumine) protsessid.

Toote eelised:

● Ülimadala reostus: Veteksemiconi 99,99% puhtad vahvlid Paadid väldivad metalliioonide saastumist ja tagavad kiibi elektri jõudluse.

● Täpne suurus: Quartzi vahvli paadi tasasus on ± 0,05 mm, tagades vahvli ühtlase kuumutamise (näiteks 12-tollise vahvlipaadi).

● Pikk eluiga: Vastavalt meie tehtud tegelikele tootmisandmetele saab meie toodetavaid kvartspaate pidevalt kasutada enam kui 1000 tundi temperatuuril 1200 ° C, vähendades märkimisväärselt asendussagedust (võrreldes tavaliste kvartspaatidega, suureneb elu 3 korda).

2. fotogalvaaniline tööstus

Konkreetsed kasutusalad: Fotogalvaanilise tööstuse valdkonnas kasutatakse PERC-rakkude fosfori difusioonis ja topcon-rakkude boori difusiooniprotsessis tavaliselt kõrge puhtusastmega kvartspaate.

Tulemuslikkuse eelised:

● Kõrge koormuse kujundus: Meie toodetud üksik paat võib kanda 200 ~ 300 ränivahvrit (paksus 160 ~ 180 μm), parandades oluliselt vahvli tootmisvõimsust ajaühiku kohta.

● Kiire temperatuuri tõus ja langus: Ülimadala soojuspaisumistegur (0,55 × 10⁻⁶/° C (20 ~ 1000 ° C), null laienemise lähedal) toetab protsessitsükli vähenemist 10% ~ 15%.

● Anti-PID-toime: Räni vahvli laadimisprotsessi ajal ei vähenda naatriumioonide sademeid foto põhjustatud lagunemise riski.

Ⅲ. Quartzi paadipakendite spetsifikatsioonid

Veteksemicon Quartzi paadid kasutavad toote terviklikkuse tagamiseks ladustamise ja transpordi ajal mitmekihilist tihedat pakendit.

Samal ajal toetab Veteksemincon kohandatud laiendatud protsesside kujundamist, näiteks mittestandardset suurus (viga ± 0,1 mm), mitmekihilise virnastamise disaini (kuni 5 kihti) ja kõrge temperatuuriga vastupidava kilekattega (näiteks SIC kate). Tere tulemast oma edasist konsultatsiooni.