Tooted
Räni karbiidiroboti käsi
  • Räni karbiidiroboti käsiRäni karbiidiroboti käsi
  • Räni karbiidiroboti käsiRäni karbiidiroboti käsi

Räni karbiidiroboti käsi

Meie ränikarbiid (SIC) robotkäe on ette nähtud suure jõudlusega vahvli käitlemiseks täiustatud pooljuhtide tootmisel. Kõrge puhtusastmega räni karbiidist valmistatud see robotik käsi pakub erakordset vastupidavust kõrgetele temperatuuridele, plasma korrosioonile ja keemilisele rünnakule, tagades usaldusväärse toimimise nõudlikes puhtaruumides. Selle erakordne mehaaniline tugevus ja mõõtmete stabiilsus võimaldavad vahvli täpset käitlemist, minimeerides samas saastumisriske, muutes selle ideaalseks valikuks MOCVD, epitaksia, ioonide implanteerimise ja muude kriitiliste vahvlite käitlemise rakenduste jaoks. Me tervitame teie päringuid.

Veteksemiconi räni karbotite robotkäik on tipptasemel pooljuhtide töötlemise lahendus, mis on loodud spetsiaalselt karmideks tööstuskeskkondadeks. Kasutades täiustatud kõrge puhtusastmega räni karbiidimaterjali tehnoloogiat, näitab see erakordset stabiilsust ja vastupidavust kõrgetes temperatuurides, söövitavates keskkondades ja ülikõrgetes vaakumtingimustes. Vahvli käitlemise, söövitamise ja ladestumisprotsesside põhikomponendina parandab meie robotiseerimisvars märkimisväärselt tootlikkust ja vähendab hoolduskulusid.


Ⅰ. Tehnilised parameetrid


Projekt
Parameeter
Materiaalne
Kõrge puhtus sic
Pinna kõvadus
2800-3200 HV
Kandevõime
3kg/5kg/10kg (saadaval erinevad spetsifikatsioonid)
Soojusjuhtivus
Soojusjuhtivus
Vastupidavus
10^3-10^5 ω; cm
Kohaldatav keskkond
Kõrge temperatuur, plasma, söövitav gaas, ülikõrge vaakum
Korda positsioneerimise täpsust
± 0,02mm

Ⅱ. Veteksemiconi räni karbot -robot ARM -i südamiku eelised


1. äärmuslik keskkonna tolerants

Meie robot-käsi kasutab ainulaadselt formuleeritud SIC-kattekihti, mis läbib mitut kõrgtemperatuuriga sadestumisprotsessi, võimaldades sellel säilitada struktuurilise terviklikkuse püsivatel temperatuuridel 1500 ° C ja seista tõhusalt vastu korrosioonile plasma pommitamisest ning tugevast happe- ja aluselisest keskkonnast. See käsitleb põhimõtteliselt traditsiooniliste materjalide valupunkte, mis on altid vananemisele ja mille eluiga on äärmuslikes töötingimustes.


2. suurepärased mehaanilised omadused

Võttes kasutusele grafiidi substraadi ja sic -katte komposiitstruktuuri, oleme saavutanud jäikuse, mis ületab palju metallmaterjalide oma, tagades samal ajal, et käsi on äärmiselt kerge. See disain tagab, et robot-käe deformatsioon on kiire kolb-liikumise ajal äärmiselt väike, surudes tõhusalt maha, kontrollides seeläbi kindlalt korduvat positsioneerimistäpsust ± 0,02 mm piires, tagades täppisvahvlite ohutu edastamise.


3. ultra-kõrge puhtus

Mõistame, et tahkete osakeste saastumine on saagise tapja number üks. Seetõttu läbib iga roboti käsi täpse poleerimise ja spetsialiseeritud pinna töötlemise, mille tulemuseks on pinnakaredus RA alla 0,1 μm. Katmine peab kindlalt kinni, takistades koorimisohtu. Meie tooted on 100% puhtuse testitud, vastavad täielikult kõrgetele puhastatud nõuetele ja on valmis kasutamiseks tipptasemel tootmisliinides.


4. pikk kasutulu

Tänu SIC -i loomupärasele kõvadusele 3000 HV ja suurepärasele kulumiskindlusele kogevad meie robotrelvad minimaalse degradeerumise ka pärast kümneid tuhandeid liikumistsüklit. Nende kasutusaega on mitu korda tavaliste keraamiliste või alumiiniumsulamist komponentide puhul, vähendades märkimisväärselt seisakuid asendamiseks ja hoolduseks, pakkudes klientidele olulist üldist kulutasuvust.


Ⅲ. Peamised rakendusväljad


Rakendussuund
Tüüpiline stsenaarium
Semiconductorite tootmine
Vahvli käitlemine, ülekandmine ja positsioneerimine
LED -tootmine
MOCVD reaktsioonikambri komponendid
Fotogalvaaniline tööstus
PECVD, difusiooniprotsess
Kosmose
Automaatne töötlemine kõrge temperatuuriga keskkonnas

Veteksemiconi ränikarbiidrobot -arm 'Ökoloogiline ahela kontrollimine hõlmab toorainet tootmisele, on läbinud rahvusvahelise standardisertifikaadi ja sellel on mitmeid patenteeritud tehnoloogiaid, et tagada selle usaldusväärsus ja jätkusuutlikkus pooljuht- ja uute energiavaldkondade valdkonnas. Tere tulemast meiega igal ajal konsulteerima.


Veteksemicon products shop

Kuumad sildid: Räni karbiidiroboti käsi
Saada päring
Kontaktinfo
Ränikarbiidkatte, tantaalkarbiidkatte, erigrafiidi või hinnakirja kohta päringute saamiseks jätke meile oma e-kiri ja me võtame ühendust 24 tunni jooksul.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept