Kvartsahju toru difusioonahju jaoks

1. Põhifunktsioonid ja eelised

• Ülikõrge puhtusastmega dehüdroksüülitud sulatatud kvarts (SiO₂ ≥ 99,999%), mille metallide lisandid on kontrollitud ppb tasemel ja äärmiselt madal hüdroksüülisisaldus

• Pikaajaline töötemperatuur kuni 1100 °C; lühiajaline tippkindlus kuni 1200 °C

• Suurepärane vastupidavus termilisele šokile pärast täielikku pingevaba lõõmutamist – vastupidav pragunemisele kiirete temperatuurimuutuste korral

• silmapaistev keemiline inertsus oksüdeerivate, redutseerivate ja halogeeni sisaldavate protsessigaaside suhtes; sobib plasma ja söövitava keskkonna jaoks

• Väga madal vaakumgaaside väljutamine; sile sisesein minimeerib kõrvalsaaduste kogunemist ja toetab protsessi korratavust

• Ühes tükis vormimine ühtlase seinapaksusega, suure koaksiaalsusega ja täpselt viimistletud otstega usaldusväärseks tihendamiseks

• Kohandatavad struktuurid: sirged torud, reduktortorud, äärikuga torud, pikendatud pikkused ja spetsiaalsed otsakonfiguratsioonid vertikaalsete või horisontaalsete ahjude jaoks

2. Tüüpilised rakendused

VeTeki kvartsahju torusid kasutatakse laialdaselt südamiku reaktsioonikambrina:

• Termooksüdatsiooniahjud (kuiv/märg oksüdatsioon)

• Difusioonahjud lisandite sisestamiseks (B, P, As jne)

• LPCVD süsteemid õhukese kilega sadestamiseks

• Vaakumniilimine ja muud kõrge temperatuuriga kuumtöötlusprotsessid

• Ühildub 4-tollise, 6-tollise, 8-tollise ja 12-tollise vahvliplatvormidega (Si, SiC, GaN, safiir-substraadid)

Need toetavad loogikat, mälu, toiteseadet, MCU-d, LED-i, MEMS-i ja lairiba-pooljuhtide tootmisliine, mis nõuavad stabiilset temperatuuri ühtlust, gaasivoolu juhtimist ja ülipuhtat protsessikeskkonda.

3. Peamised tehnilised parameetrid

• Materjal: pooljuhtkvaliteediga dehüdroksüülitud sulatatud kvarts (SiO₂ ≥ 99,999%), madal hüdroksüül, vähe metallilisi lisandeid

• Vahvlite ühilduvus: 4 / 6 / 8 / 12 tolli

• Pikaajaline töötemperatuur: −20 °C kuni 1100 °C; lühiajaline tipp kuni 1200 °C

• Protsess: ühes tükis termiline vormimine, seina homogeniseerimine, lõppviimistlus, pinget leevendav lõõmutamine, heeliumi lekkekatse, ülipuhas puhastus

• Saadaolevad struktuurid: sirge toru, reduktortoru, äärikuga toru, pikendatud / kohandatud pikkusega toru, eriotsa konfiguratsioonid

• Kohandamine: sisemine/välimine läbimõõt, pikkus, seina paksus, ääriku andmed ja erigeomeetria vastavalt kliendi joonistele

4. Miks valida VeTeki kvartsahjutorud?

Professionaalse pooljuhtkvartskomponentide tootjana pakub VeTek Semiconductor:

• Kõrge puhtusastmega kvartsahju torud, mis on konstrueeritud oksüdatsiooni-, difusiooni-, LPCVD- ja lõõmutusseadmete jaoks

• Range puhtuse kontroll, mõõtmete täpsus ja puhtus, mis sobivad klassi 10 / 100 puhasruumide tootmiseks

• Täielik kohandamine ja OEM-iga ühilduvad konstruktsioonid vertikaalsete ja horisontaalsete toruahjude jaoks

• Täiendavad pooljuhtkvartstooted, sh vahvlipaadid, tiiglid, vooderdised ja muud protsessikomponendid

Meie kvartsahju torud aitavad säilitada stabiilseid soojus- ja gaasivoolu tingimusi, minimeerida osakeste ja metallide saastumist ning pikendada kasutusiga pideva kõrge temperatuuriga tsükli korral, toetades suuremat saagist ja madalamaid omamiskulusid pooljuhtide termilisel töötlemisel.