ICP/PSS söövitusprotsess

VeTek Semiconductor ICPPSS (induktiivselt ühendatud plasma fotoresisti eemaldamine) söövitusprotsessi Wafer Carrier on spetsiaalselt loodud vastama pooljuhtide tööstuse söövitusprotsesside nõudlikele nõuetele. Oma täiustatud funktsioonidega tagab see optimaalse jõudluse, tõhususe ja töökindluse kogu söövitusprotsessi vältel.

VeTek Semiconductor ICP/PSS söövitusprotsessi susveptorite eelised:

Täiustatud keemiline ühilduvus: vahvlikandja on valmistatud materjalidest, millel on suurepärane keemiline ühilduvus söövitusprotsessi keemiaga. See tagab ühilduvuse paljude söövitusainete, resistentsete eemaldajate ja puhastuslahustega, minimeerides keemiliste reaktsioonide või saastumise riski.

Vastupidavus kõrgele temperatuurile: vahvlikandja on konstrueeritud taluma söövitusprotsessi ajal esinevaid kõrgeid temperatuure. See säilitab oma konstruktsiooni terviklikkuse ja mehaanilise tugevuse, vältides deformatsiooni või kahjustusi isegi äärmuslikes termilistes tingimustes.

Suurepärane söövitamise ühtlus: kanduril on täpselt konstrueeritud disain, mis soodustab söövitusainete ja gaaside ühtlast jaotumist vahvli pinnal. Selle tulemuseks on ühtlased söövituskiirused ja kvaliteetsed ühtlased mustrid, mis on olulised täpsete ja usaldusväärsete söövitustulemuste saavutamiseks.

Suurepärane vahvli stabiilsus: kanduril on kindel vahvlihoidmismehhanism, mis tagab stabiilse positsioneerimise ja hoiab ära vahvli liikumise või libisemise söövitusprotsessi ajal. See tagab täpsed ja korratavad söövitusmustrid, minimeerides defekte ja saagikaod.

Puhasruumi ühilduvus: vahvlikandur on loodud vastama rangetele puhta ruumi standarditele. Sellel on väike osakeste teke ja suurepärane puhtus, mis hoiab ära osakeste saastumise, mis võib kahjustada söövitusprotsessi kvaliteeti ja saagist. Lisandeid on alla 5 ppm.

Tugev ja vastupidav konstruktsioon: kandur on valmistatud kvaliteetsetest materjalidest, mis on tuntud oma vastupidavuse ja pika eluea poolest. See talub korduvat kasutamist ja rangeid puhastusprotsesse, ilma et see kahjustaks selle jõudlust või struktuuri terviklikkust.

Kohandatav disain: pakume kohandatavaid valikuid vastavalt kliendi konkreetsetele nõudmistele. Kandurit saab kohandada erineva suuruse, paksuse ja protsessi spetsifikatsioonide jaoks, tagades ühilduvuse erinevate söövitusseadmete ja protsessidega.

Kogege meie ICP/PSS söövitusprotsessi vahvlikanduri töökindlust ja jõudlust, mis on loodud söövitusprotsessi optimeerimiseks pooljuhtide tööstuses. Selle täiustatud keemiline ühilduvus, vastupidavus kõrgele temperatuurile, suurepärane söövituse ühtlus, suurepärane vahvli stabiilsus, puhta ruumi ühilduvus, tugev konstruktsioon ja kohandatav disain muudavad selle ideaalseks valikuks söövitusrakenduste jaoks.

PSS söövitusplaat ICP söövitusplaat ICP söövitussusceptor