Kõrge puhtusastmega kvartsist söövitatud rõngas

1.Peamised omadused ja eelised

• Pooljuhtkvaliteediga dehüdroksüülitud sulatatud kvarts SiO₂ ≥ 99,999% ja rangelt kontrollitud metalliliste lisanditega

• Stabiilne pidev töö kuni 1100 °C, lühiajaline töövõime 1200 °C lähedal

• Tugev vastupidavus fluori- ja klooripõhistele söövituskeemiatele ja suure energiasisaldusega plasma kokkupuutele

• Madal soojuspaisumine ja hea termilise šoki jõudlus korduvate kambri temperatuuritsüklite korral

• Madal vaakumgaaside väljastamine kambri baasrõhu ja protsessigaasi koostise kaitsmiseks

• Mikronitasemel mõõtmete juhtimine poleeritud kontaktpindadega, et tagada kambri ühtlane sobivus ja plasmapiiride määratlemine

• Konfigureeritavad konstruktsioonid: lamedad rõngad, astmelised söövitusrõngad, asukoha-/kinnitusrõngad ja täielikult kohandatud profiilid suuremate söövitustööriistade platvormide jaoks

2.Tüüpilised rakendused

Kõrge puhtusastmega kvartssöövitusrõngaid kasutatakse kuivplasma söövitusprotsessi kambrites:

• Loogika- ja mäluseadme plasmasöövituse etapid

• SiC ja GaN toiteseadme söövitusprotsessid

• Kõrge kuvasuhtega struktuur etch

• Optiline ja ühend-pooljuhtsubstraadi plasmatöötlus

• Täiustatud pakendamise plasmasöövitus ja sellega seotud puhastusetapid

• RIE / ICP labori- ja tootmissöövitustööriistad

3.Peamised tehnilised parameetrid

• Materjal: pooljuhtkvaliteediga dehüdroksüülitud sulatatud kvarts, SiO₂ ≥ 99,999%

• Vahvlitega ühilduvus: 2/4/6/8/12-tolline räni, SiC, GaN ja safiir

• Töötemperatuur: –20 °C kuni 1100 °C pidev; lühiajaline tipp ligikaudu 1200 °C

• Peamised funktsioonid: plasma serva piiramine, gaasivoolu juhtimine, servakaitse ja kambri isoleerimine

• Töötlemise kvaliteet: mikronitaseme tolerantsid, poleeritud pinnad, kontrollitud servad ja puhas viimistlus

• Struktuurivalikud: lame rõngas, astmeline söövitusrõngas, asukoha määramise/kinnitusrõngas ja kohandatud geomeetria

• Kohandamine: välis-/sisemine läbimõõt, paksus, astme kõrgus, asukoha omadused, faasid ja liidese üksikasjad joonise kohta

4.Miks valida VeTeki kõrge puhtusastmega kvartssöövitusrõngad?

VeTek Semiconductor tarnib protsessikriitilist kvartsist riistvara söövitus- ja termotööriistade jaoks. Söövitusrõngaste puhul keskendutakse järgmisele:

• Materjali puhtus ja pinnapuhtus, mis sobivad täiustatud kuivsöövituskeskkondadesse

• Mõõtmete täpsus, mis toetab stabiilset plasmapiiri kontrolli ja korratavat kambri sobivust

• Disaini paindlikkus OEM-stiilis asendamise ja täielikult kohandatud kambriliideste jaoks

• Täielik kvartskomponentide valik, mis sisaldab ka vahvlikandjaid, ahjutorusid, paate ja nendega seotud protsessiosi

Kombineerides kõrge puhtuse, plasma vastupidavuse ja range geomeetria kontrolli, aitavad VeTeki kõrge puhtusastmega kvartssöövitusrõngad parandada plaatide vahelist söövitamise ühtlust, vähendada servadega seotud defekte ning toetada pikemaid ja stabiilsemaid tootmistsükleid kuivades plasmasöövitustööriistades.