EPI toetaja

Vetek Semiconductor on professionaalne juht China EPI, ALD Planetry Tugor ja TAC -i kaetud grafiidi tugiteenuste tootja. ja Meie EPI tugi on oluline komponentepitaksiaalne kasvPooljuhtide tootmisprotsessis. Selle peamine funktsioon on vahvli toetamine ja kuumutamine nii, et kvaliteetset epitaksiaalset kihti saab vahvli pinnal ühtlaselt kasvatada.

Veteki pooljuhtide EPI-osutajad on tavaliselt valmistatud kõrge puhtusastmega grafiidist ja kaetud räni karbiidi kihiga (sic).Sellel kujundusel on järgmised peamised eelised:

● Kõrge temperatuuri stabiilsus: EPI -osutaja võib püsida stabiilsena kõrge temperatuuriga keskkonnas, tagades epitaksiaalse kihi ühtlase kasvu.

● korrosioonikindlus: SIC -kattel on suurepärane korrosioonikindlus ja see võib vastu pidada keemiliste gaaside erosioonile, pikendades aluse kasutusaega.

● Soojusjuhtivus: SIC -materjali kõrge soojusjuhtivus tagab vahvli ühtlase temperatuuri jaotuse kuumutamise ajal, parandades sellega epitaksiaalse kihi kvaliteeti.

● Soojuspaisumisteguri sobitamine: SIC soojuspaisumistegur on sarnane grafiidi omaga, vältides soojuspaisumise ja kokkutõmbumise tõttu kattekattekatte probleemi.

Põhilised füüsilised omadusedCVD SIC katmine:

CVD SIC katte tootmise pood:

Ülevaade pooljuhtkiibi epitaxy tööstusahelast: