CVD SIC pannkookide vastuvõtja

See pooljuht CVD SIC pannkoogide vastuvõtja toodetakse, kasutades uusima keemilise aurude sadestamise tehnoloogiat (CVD), et tagada suurepärane vastupidavus ja temperatuuri ekstreemne kohanemisvõime. Järgmised on selle peamised füüsilised omadused:

● Soojusstabiilsus: CVD SIC kõrge termiline stabiilsus tagab stabiilse jõudluse kõrge temperatuuri tingimustes.

● Madal soojuspaisumistegur: Materjal on äärmiselt madal soojuspaisumistegur, mis minimeerib temperatuurimuutustest põhjustatud väändumise ja deformatsiooni.

● Keemiline korrosioonikindlus: Suurepärane keemiline vastupidavus võimaldab tal säilitada suure jõudluse erinevates karmides keskkondades.

Täpne tugi ja optimeeritud soojusülekanne

Veteksemi pannkoogide vastuvõtjapõhine SIC -kaetud on loodud pooljuhtide vahvlite majutamiseks ja epitaksiaalse ladestumise ajal suurepärast tuge pakkuma. SIC pannkoogide osutaja on loodud täiustatud arvutusliku simulatsioonitehnoloogia abil, et minimeerida väändumist ja deformatsiooni erinevates temperatuuri- ja rõhutingimustes. Selle tüüpiline soojuspaisumistegur on umbes 4,0 × 10^-6/° C, mis tähendab, et selle mõõtmete stabiilsus on oluliselt parem kui traditsioonilised materjalid kõrgtemperatuurilises keskkonnas, tagades sellega vahvli paksuse konsistentsi (tavaliselt 200 mm kuni 300 mm).

Lisaks paistab CVD pannkoogide vastuvõtja soojusülekandes silma, soojusjuhtivusega kuni 120 W/m · K. See kõrge soojusjuhtivus võib kiiresti ja tõhusalt juhtida soojust, suurendada temperatuuri ühtsust ahjus, tagada epitaksiaalse sadestumise ajal ühtlase soojuse jaotuse ja vähendada ebaühtlast soojust põhjustatud sadestumise defekte. Optimeeritud soojusülekande jõudlus on kriitilise tähtsusega sadestumise kvaliteedi parandamiseks, mis võib tõhusalt vähendada protsesside kõikumisi ja parandada saagikust.

Nende disaini- ja jõudluse optimeerimiste kaudu loob Vetek Semiconductori CVD SIC pannkoogide vastuvõtja kindla aluse pooljuhtide tootmiseks, tagades usaldusväärsuse ja järjepidevuse karmides töötlemistingimustes ning vastades tänapäevase pooljuhttööstuse rangetele nõuetele kõrge täpsuse ja kvaliteedi tagamiseks.

CVD sic kile kristallstruktuur

CVD sic -katte füüsikalised omadused

CVD sic -katte füüsikalised omadused
Omand	Tüüpiline väärtus
Kristallstruktuur	FCC β -faasi polükristalliline, peamiselt (111) orienteeritud
Tihedus	3,21 g/cm³
Karedus	2500 Vickersi kõvadus （500G koormus）
Tera suurus	2 ~ 10mm
Keemiline puhtus	99,99995%
Soojusmaht	640 J · kg-1· K-1
Sublimatsioonitemperatuur	2700 ℃
Paindetugevus	415 MPA RT 4-punktiline
Youngi moodul	430 GPA 4pt Bend, 1300 ℃
Soojusjuhtivus	300W · M-1· K-1
Soojuspaisumine (CTE)	4,5 × 10-6K-1