Vertikaalne ahi sic -kattega rõngas

Vertikaalsetes ahjudes on ränikarbiidiga kaetud rõngaste kasutamine levinud lahendus, mida kasutatakse peamiselt kõrge temperatuuriga kuumtöötlusprotsessides.pooljuhtide vahvlid. Vertikaalsed ahjud sic-kattega rõngad on suure jõudlusega, kõrge temperatuuriga vastupidavad komponendid, mida kasutatakse vahvlite toetamiseks või kaitsmiseks, et tagada protsessi stabiilsus ja usaldusväärsus.

Vertikaalse ahju funktsioonid sic -kattega rõngad

● Funktsioonid

Toetav roll. Kasutatakse vahvlite toetamiseks, et tagada nende stabiilsus ja täpne asend kõrgtemperatuurides.

●  Korrosioonikaitse

Vältige söövitavaid gaase või kemikaale baasmaterjali söömist.

●  Vähendada reostust

Kõrge puhtusastmega SIC-kate võib protsessi puhtuse tagamiseks tõhusalt takistada osakeste valamist ja lisandite saastumist.

●  Kõrge temperatuuritaluvus

Hoidke suurepäraseid mehaanilisi omadusi ja mõõtmete stabiilsust kõrge temperatuuriga keskkonnas (tavaliselt üle 1000 ° C).

Vertikaalse ahju SIC -kattega rõnga omadused

●  Suur kõvadus ja tugevus

SiC materjalidel on suurepärane mehaaniline tugevus ja need taluvad ahjus kõrget temperatuuri stressi.

●  Hea termiline stabiilsus

SiC kõrge soojusjuhtivus ja madal soojuspaisumise koefitsient aitavad vähendada soojuspinget.

●  Tugev keemiline stabiilsus

SiC katted taluvad korrosiooni oksüdeerivas, happelises või aluselises keskkonnas.

●  Madal osakeste saastumine

Sujuv pind vähendab osakeste genereerimise võimalust, mis sobib eriti pooljuhtide tootmise ülikerge keskkonna jaoks.

Kasutatakse vertikaalsetes ahjudes difusiooni, oksüdatsiooni, lõõmutamise ja muude protsesside jaoks, et toetada räni vahvleid ja vältida osakeste saastumist kuumtöötlemise ajal.

Tootmismaterjalid ja protsessid

● Substraat: valmistatud kvaliteetsest SGL-i grafiidist, kvaliteet on tagatud.

●  Katmine: ränikarbiidkate kantakse grafiitpinnale keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) abil.

● Katte paksus on tavaliselt vahemikus 50 ~ 500 μm, mida reguleeritakse vastavalt kasutusnõuetele.

● Keemilise auru sadestumise sic -kattel on suurem puhtus ja tihedus ning parem vastupidavus.

Valige sobivSiC kateRing vastavalt ahjus oleva räni vahvli läbimõõdule ja kandja spetsifikatsioonidele. Saame seda teie jaoks kohandada. Kõrge puhtus, tihe kattekiht on vastupidavam ja vähem saastav. Regulaarselt asendage vastavalt kasutamise sagedusele ja protsessinõuetele, et vältida saastumist või katte vananemisest tingitud saastumist.

Professionaalse vertikaalahju ränidioksiidiga kaetud rõngaste tarnija ja tootjana Hiinas on VeTek Semiconductor juba pikka aega pühendunud täiustatud vertikaalahju tehnoloogia ja tootelahenduste pakkumisele pooljuhtide tööstusele. Ootame siiralt, et saame teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.

CVD sic kile kristallstruktuur

CVD SiC katte põhilised füüsikalised omadused

VeTek pooljuhtVertikaalsed ahjud sic -kattega rõngapoed: