Veebi menüü

Tooteotsing

Keel

Tooted

Tantaalkarbiidi kate

VeTek semiconductor on pooljuhtide tööstusele mõeldud tantaalkarbiidkattematerjalide juhtiv tootja. Meie peamised tootepakkumised hõlmavad CVD-tantaalkarbiidkatte osi, paagutatud TaC-katte osi ränikarbiidi kristallide kasvatamiseks või pooljuhtide epitaksiprotsessiks. Läbinud ISO9001, VeTek Semiconductor kontrollib hästi kvaliteeti. VeTek Semiconductor on pühendunud tantaalkarbiidkatte tööstuse uuendajaks pideva iteratiivsete tehnoloogiate uurimise ja arendamise kaudu.


Peamised tooted onTaC-kattega juhtrõngas, CVD TaC-kattega kolme kroonlehega juhtrõngas, Tantaalkarbiidiga kaetud poolkuu, CVD TaC kattega planetaarne SiC epitaksiaalne sustseptor, Tantaalkarbiidist katterõngas, Tantaalkarbiidiga kaetud poorne grafiit, TaC katte pöörlemissusseptor, Tantaalkarbiidist rõngas, TaC katte pöörlemisplaat, TaC-ga kaetud vahvli sustseptor, TaC-kattega deflektorirõngas, CVD TaC kate, TaC-kattega padrunjne, puhtus on alla 5 ppm, võib vastata klientide nõudmistele.


TaC-katte grafiit saadakse kõrge puhtusastmega grafiidist substraadi pinna katmisel peene tantaalkarbiidi kihiga patenteeritud keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) protsessi abil. Eelis on näidatud alloleval pildil:


Excellent properties of TaC coating graphite


Tantaalkarbiidi (TaC) kate on pälvinud tähelepanu tänu oma kõrgele sulamistemperatuurile (kuni 3880 °C), suurepärasele mehaanilisele tugevusele, kõvadusele ja vastupidavusele termilisele šokkidele, muutes selle atraktiivseks alternatiiviks kõrgemate temperatuurinõuetega liitpooljuhtide epitaksiprotsessidele. nagu Aixtron MOCVD süsteem ja LPE SiC epitaksimisprotsess. Samuti on sellel laialdane rakendus PVT meetodil SiC kristallide kasvuprotsessis.


Põhifunktsioonid:

 ●Temperatuuri stabiilsus

 ●Ultra kõrge puhtusastmega

 ●Vastupidavus H2, NH3, SiH4, Si suhtes

 ●Vastupidavus termilisele materjalile

 ●Tugev nake grafiidiga

 ●Konformne kattekiht

 ● Suurus kuni 750 mm läbimõõduga (ainus Hiina tootja jõuab selle suuruseni)


Rakendused:

 ●Vahvlikandja

 ● Induktiivne küttesusseptor

 ● Resistiivne kütteelement

 ●Satelliidi ketas

 ●Dušipea

 ●Juhtrõngas

 ●LED Epi vastuvõtja

 ●Sissepritse otsik

 ●Maskeeriv rõngas

 ● Kuumakaitse


Tantaalkarbiidi (TaC) kate mikroskoopilisel ristlõikel:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


VeTeki pooljuht-tantaalkarbiidkatte parameeter:

TaC katte füüsikalised omadused
Tihedus 14,3 (g/cm³)
Eriemissioon 0.3
Soojuspaisumise koefitsient 6.3 10-6/K
Kõvadus (HK) 2000 HK
Vastupidavus 1 × 10-5Ohm*cm
Termiline stabiilsus <2500 ℃
Grafiidi suurus muutub -10-20 um
Katte paksus ≥20um tüüpiline väärtus (35um±10um)


TaC katte EDX andmed：

EDX data of TaC coating


TaC katte kristallstruktuuri andmed:

Element Aatomiprotsent
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Keskmine
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
TAC -i kaetud juhtrõngas

TAC -i kaetud juhtrõngas

TAC-i kaetud juhtrõngas on valmistatud kvaliteetsest grafiidist ja TAC-kattest. SIC -kristallide valmistamisel PVT -meetodil kasutatakse Vetek Semiconductori TAC -i kaetud juhtrõnga peamiselt õhuvoolu juhendamiseks ja juhtimiseks, ühe kristalli kasvuprotsessi optimeerimiseks ja ühekristalli saagise parandamiseks. Suurepärase TAC -kattetehnoloogia abil on meie toodetel suurepärane kõrge temperatuurikindlus, korrosioonikindlus ja head mehaanilised omadused.
Vaata rohkem >> Saada päring >>
Tantaalkarbiidiga kaetud planetaarne pöörlemisketas

Tantaalkarbiidiga kaetud planetaarne pöörlemisketas

Vetek Semiconductor on Hiinas juhtiv Tantalumi karbiidiga kaetud planeedi pöördeketta tootja ja tarnija, keskendudes aastaid TAC -i kattetehnoloogiale. Meie toodetel on kõrge puhtus ja suurepärane kõrge temperatuuriga vastupidavus, mida pooljuhtide tootjad laialdaselt tunnustavad. Veteki pooljuhtide tantaalkarbiidkattega planeedi pöörlemisketast on saanud vahvli epitaksia tööstuse selgroog. Ootame teiega pikaajalise partnerluse loomist, et ühiselt edendada tehnoloogilist arengut ja tootmise optimeerimist.
Vaata rohkem >> Saada päring >>
TaC-kattega grafiidist vahvlikandja

TaC-kattega grafiidist vahvlikandja

Vetek Semiconductor on klientidele hoolikalt kavandanud TAC -i kaetud grafiidi vahvli kandja. See koosneb kõrge puhtusastmega grafiidist ja TAC-kattest, mis sobib erinevate vahvlite epitaksiaalse vahvli töötlemiseks. Oleme aastaid spetsialiseerunud SIC -i ja TAC -i katmisele. Võrreldes SIC-kattega on meie TAC-ga kaetud grafiidi vahvli kandja kõrgem temperatuurikindlus ja kulumiskindlad. Ootame huviga teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.
Vaata rohkem >> Saada päring >>
Hiinas professionaalse Tantaalkarbiidi kate tootja ja tarnijana on meil oma tehas. Ükskõik, kas vajate oma piirkonna konkreetsete vajaduste rahuldamiseks kohandatud teenuseid või soovite Hiinas valmistatud täiustatud ja vastupidavat Tantaalkarbiidi kate osta, võite jätta meile sõnumi.
Uudiste soovitused
Mis on räni karbiidi keraamika?
Mis on räni karbiidi keraamika?Vaata rohkem >>
Milline on epitaksiaalne protsess?
Milline on epitaksiaalne protsess?Vaata rohkem >>
Tantalumi karbiidi tehnoloogia läbimurre, sic epitaksiaalne reostus vähendas 75%?
Tantalumi karbiidi tehnoloogia läbimurre, sic epitaksiaalne reostus vähendas 75%?Vaata rohkem >>
Kuidas lahendada ränikarbiidkeraamika paagutamise pragude probleem? - VeTeki pooljuht
Kuidas lahendada ränikarbiidkeraamika paagutamise pragude probleem? - VeTeki pooljuhtVaata rohkem >>
Mis on kvartspaat?
Mis on kvartspaat?Vaata rohkem >>
Kuidas saavutada kvaliteetset kristallide kasvu? - SIC kristallide kasvu ahi
Kuidas saavutada kvaliteetset kristallide kasvu? - SIC kristallide kasvu ahiVaata rohkem >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept