Kõrge puhtusastmega kvartsplaatide kandja

1. Peamised omadused ja eelised

• Ülikõrge puhtusastmega dehüdroksüülitud sulatatud kvarts (SiO₂ ≥ 99,999%), mille metallide lisandid on kontrollitud ppb tasemel – minimeerides vahvlite saastumist

• Pikaajaline töötemperatuur kuni 1100 °C; lühiajaline tippkindlus kuni 1200 °C

• Suurepärane soojuslöögikindlus ja mõõtmete stabiilsus sagedase temperatuuritsükli korral

• Tugev keemiline inerts oksüdeerivate protsessigaaside ja tavaliste märgprotsesside kemikaalide (HF, H₂O2, happed/leelised) suhtes

• Kõrge tasane ja täpselt lihvitud pind ümarate servadega ühtlaseks vahvlitoetuseks ja servakahjustuste vähendamiseks

• Madal vaakumgaaside väljutamine ja madal pinnaadsorptsioon – sobib täppisvaakumprotsesside jaoks

• Täielikult kohandatavad struktuurid: tugevad kandurid, perforeeritud/ventileeritud konstruktsioonid, astmelised asukoha määramise funktsioonid, positsioneerimisaugud, mitmepunktilised toed ja paksendatud deformatsioonivastased konstruktsioonid 2–12-tolliste vahvlite jaoks

2. Tüüpilised rakendused

Neid kandjaid kasutatakse kõikjal, kus vahvlid vajavad puhast, mõõtmetelt stabiilset tuge kõrgendatud temperatuuri või agressiivse keemia tingimustes:

• Difusiooni- ja lõõmutusahju laadimine

• PECVD ja LPCVD kile kasvuprotsessi tugi

• Vaakumkamber ja kõrge temperatuuriga protsessi tööriistad

• Söövitusjärgne kuivatamine ja märgpuhastusjaama kandurid

• SiC ja GaN toiteseadme termiline töötlemine

• Optoelektrooniliste substraadi käitlemise ja labori termotööriistad

3. Peamised tehnilised parameetrid

• Alusmaterjal: pooljuhtkvaliteediga dehüdroksüülitud sulatatud kvarts, SiO₂ ≥ 99,999%

• Ühilduvad vahvlisuurused: 2, 4, 6, 8 ja 12 tolli (Si, SiC, GaN, safiir)

• Soovitatav pidev temperatuurivahemik: –20 °C kuni 1100 °C; lühiajaline tipp kuni ligikaudu 1200 °C

• Tootmisviis: ühes tükis vormimine, pinna täpne lihvimine, servade ümardamine, pinget leevendav lõõmutamine ja ülipuhas lõpppuhastus

• Saadaolevad konfiguratsioonid: tahke, ventileeritav/perforeeritud, astmelise asukohaga, augumustriline ja täielikult kohandatud geomeetria

• Toimivusfookus: kõrge puhtusaste, termiline stabiilsus, korrosioonikindlus, pinna tasane, madal gaasieraldus ja pikaajaline mõõtmete säilivus

• Kohandamise ulatus: välismõõtmed, paksus, tugigeomeetria, avade paigutus ja kliendi joonistel põhinevad erifunktsioonid

4. Miks valida VeTeki kõrge puhtusastmega kvartsplaatide kandjad?

Professionaalse pooljuhtkvartskomponentide tootjana pakub VeTek Semiconductor:

• Kõrge puhtusastmega kvartsplaadi kandurid, mis on konstrueeritud termiliste, vaakum- ja märgtöötluskeskkondade jaoks

• Täiustatud pooljuhtide tootmiseks sobiv range puhtusekontroll, pinnatasasus ja puhtus

• Täielik kohandamine ja OEM-iga ühilduvad konstruktsioonid ahjude, kambrite ja töötlemisjaamade tööriistade jaoks

• Täiendavad pooljuhtkvartstooted, sealhulgas ahjutorud, vahvlipaadid, tiiglid ja muud protsessikomponendid

Meie kõrge puhtusastmega kvartsplaatide kandurid aitavad säilitada ühtlast termilist kontakti, vähendada osakeste ja metallide saastumist ning pikendada tööriista eluiga pidevates kõrge temperatuuriga ja söövitavate protsesside tingimustes – toetades pooljuhtide tootmisel suuremat saagist ja madalamaid omamiskulusid.