Kõrge puhtusastmega läbipaistmatu kvartskilp ja katik MOCVD jaoks

1. Tehnilised andmed

Pakume teie tehnilistel joonistel põhinevat ülitäpset töötlemist, et tagada täiuslik sobivus teie konkreetsete seadmemudelitega.

2. Põhilised rakendusväljad

● MOCVD protsessi kaitse: toimib oluliste sisemiste kilpidena/vooderdustena reaktsioonikeskkonna kaitsmiseks.

● Pooljuhtide epitaksia: kasutatakse ülitäpsete siibritena voolu ja temperatuuri stabiliseerimiseks õhukese kile kasvu ajal.

● Lairiba-pooljuhtide tootmine: Ühildub suure nõudlusega keskkondadega GaN-i ja muude täiustatud materjalide jaoks.

3. Miks valida VETEK Quartz Solutions?

● Suurepärane soojuskiirguse juhtimine: Meie piimjasvalge kvarts sisaldab suure tihedusega mikromulle, mis hajutavad ja blokeerivad tõhusalt kõrge temperatuuriga soojuskiirgust (>1000°C). See neelab kütteelementide nähtavat ja lähiinfrapunavalgust ning muudab selle infrapunakiirguseks, tagades väga ühtlase kuumenemise.
● Saastumise kontroll ja lihtne hooldus: Ohverdatava või vahetatava sisekattena hoiab kvartskilp reaktsioonikambri puhtana, vältides kõrvalsaaduste sadestumist kallitele kambri seintele ja küttekehadele. Neid osi saab regenereerida märgpuhastusega (nt SPM+DHF lahused) või kergesti asendada, et tagada vahvlite kõrge saagis.
● Äärmuslik keemiline vastupidavus: VETEK kvarts on konstrueeritud nii, et see talub sagedast termilist tsüklit ja on metalli orgaanilise (nt TMGa) ja hüdriidide (nagu AsH₃) korrosioonile vastu.
● Protsessi täpne juhtimine: Meie kvartsluugid säilitavad mõõtmete kõrge stabiilsuse infrapuna- või hõõgniidiga kuumutamisel. Nende madal termiline inerts võimaldab kiiret mehaanilist reageerimist, võimaldades täpset "aatomitaseme" kasvukontrolli ja vältides ristsaastumist mitme vahvli või mitme protsessi ümberlülitamise ajal.
● Tasuv alternatiiv: Rangete eelarvenõuetega projektide jaoks pakuvad meie kvartstooted usaldusväärset sisenemiskohta võrreldes kaetud grafiidiga, pakkudes MOCVD-süsteemidele olulist kaitset ja funktsionaalsust.