Sulatatud läbipaistmatu kvarts

Sulatatud läbipaistmatut kvartsi valmistatakse peamiselt elektrilise sulatamise teel, mille käigus sulatatakse kõrge puhtusastmega kvartsliiva kõrge temperatuuriga elektriküttega, et toota suure hulga läbipaistmatute omadustega mikromullidega kvartsklaasi. Elektriline sulatatud kvarts sisaldab sees suurel hulgal väikeseid mullikesi, mis muudab selle läbipaistmatuks ning aitab soojust peegeldada ja hajutada. Lisaks on sellel kõrge temperatuuritaluvus, madal soojusjuhtivus, hea keemiline stabiilsus jne. Need omadused teevad sulatatud läbipaistmatust kvartsist ideaalse materjalivaliku erinevateks pooljuhtide tootmise protsessideks. 

Praegu on läbipaistmatul kvartsil pooljuhtide valdkonnas palju olulisi rakendusi:

●  Ahjutorud difusiooni- ja oksüdatsiooniprotsessides

Sulatatud läbipaistmatut kvartsi saab kasutada difusiooniahjude ja oksüdatsiooniahjude ahju torumaterjalina. Selle kõrge temperatuuritaluvus, termilise šoki vastupidavus ja hea keemiline stabiilsus tagavad stabiilsete keemiliste omaduste säilimise kõrgel temperatuuril, tagades seeläbi saastevaba keskkonna ning pooljuhtprotsesside stabiilsuse ja järjepidevuse.

●  Maskiplaadid ja isolatsioonimaterjalid

Pooljuhtide töötlemisel saab sulatatud läbipaistmatut kvartsi kasutada maskiplaatide ja isolatsioonimaterjalina. Läbipaistmatuse ja madala valguse läbilaskvuse tõttu suudab see tõhusalt blokeerida tarbetut valgust ja soojust, vältides dopingu- ja oksüdatsiooni difusiooniprotsessis tekkiva soojuskiirguse mõjutamist teistes osades. See on eriti oluline dopingu täpseks kontrollimiseks ja tundlike piirkondade kaitsmiseks.

● tiiglid ja küttekapotid

Pooljuhtplaatide tõmbamise ajal kasutatakse sulatatud kvartstiigleid kõrge temperatuuriga sularäni hoidmiseks tänu nende suurepärasele kõrgele temperatuurile vastupidavusele ja madalale soojusjuhtivusele. Madal soojusjuhtivus võib vähendada soojuskadu, muuta kuumutamise ühtlasemaks ja tagada monokristalli tõmbamise stabiilsuse. Sulatatud läbipaistmatust kvartsist küttekubu kasutatakse soojusisolatsiooniks, soojuskadude vältimiseks ja energiatõhususe parandamiseks.

●  Tugimaterjalid keemilises aurustamises (CVD)

Keemilise aurustamise-sadestamise protsessis kasutatakse vahvli tugimaterjalina sulatatud läbipaistmatut kvartsi. Selle madal soojusjuhtivus ja kõrge temperatuuritaluvus aitavad säilitada stabiilset temperatuurivälja ning vältida ülekuumenemist või ebaühtlast kuumenemist. Keemiline inertsus tagab, et see ei reageeri kõrgel temperatuuril reaktiivsete gaasidega, säilitades seeläbi ladestunud kihi puhtuse ja kvaliteedi.

● Soojuse varjestus ja isolatsioonikomponendid

Pooljuhtide tootmisseadmed peavad sageli töötama pidevalt kõrgel temperatuuril ning sulatatud läbipaistmatu kvartsi madal soojusjuhtivus ja soojuslöögikindlus muudavad selle ideaalseks kuumavarjestus- ja isolatsioonikomponendiks. Sulatatud läbipaistmatu kvartsi kasutamine soojusvarjestusmaterjalina võib tõhusalt vähendada energiakadu ja takistada seadmete soojuse kandumist teistesse piirkondadesse, kaitstes seeläbi täppisosi.

● Kaitsematerjalid sööv- ja puhastusvahendites

Sulatatud läbipaistmatu kvartsil on äärmiselt tugev happe- ja leelise vastupidavus, mis teeb sellest pooljuhtide söövitus- ja puhastusvahendite kaitsematerjali, et vältida söövitavate kemikaalide seadmeid. Selle keemiline inersus aitab ka karmides keemilises keskkonnas stabiilsena püsida ja pikendada seadmete kasutusaega.

● Fotolitograafia maski materjal

Sulatatud läbipaistmatu kvartsi läbipaistmatuid omadusi saab kasutada maskimaterjalina spetsiifilistes fotolitograafiaprotsessides, et aidata täpselt kontrollida kokkupuuteala ja vältida liigse valguse mõjutamist vahvli tundlikel aladel.

Need sulatatud läbipaistmatu kvartsi omadused muudavad selle ülitäpse ja kõrge temperatuuriga protsessides võtmematerjaliks. Pooljuhtseadmete ja -protsesside pideva arendamisega jätkab sulatatud läbipaistmatu kvarts järgmise põlvkonna tootmistehnoloogias olulist rolli, et täita rangemaid protsessinõudeid.

Hiinas professionaalse sulatatud läbipaistmatu kvartsitarnija ja tootjana on Vetek Semiconductor valmis ja suudab pakkuda klientidele kvaliteetset sulatatud läbipaistmatut kvartsit ning ootab teie uurimist. Loodame siiralt saada teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.

VeTek Semiconductor sulatatud läbipaistmatu kvarts füüsiline omadus

Joonis a. Sulatatud läbipaistmatu kvartsi läbilaskvus                                                           Joonis b. Sulatatud läbipaistmatu kvartsi peegeldusvõime

VeTek Semiconductor Sulatatud läbipaistmatu kvartspoed