Alumiiniumnitriid (AlN) vahvlid

1. Põhifunktsioonid ja eelised

• Ülilai ribalaius ≈ 6,2 eV – kõrgeim tavaliste pooljuhtmaterjalide hulgas

• Kõrge soojusjuhtivus ≈ 320 W/m·K tõhusaks soojuse hajutamiseks

• Suurepärane elektriisolatsioon (>10¹³ Ω·cm) ja suur läbilöögiväli (12–15 MV/cm)

• Hea võre ja soojuspaisumise sobivus GaN-iga – ideaalne GaN-on-AlN heterostruktuuride jaoks

• Madala dislokatsioonitiheduse valikud tiheda HR-XRD õõtsuva kõvera juhtimisega

• Al-face CMP (Ra ≤ 0,5 nm) ja N-face MP epi-valmis pindade jaoks

• Mitmed suurused ja kvaliteediklassid (P / R / D), mis vastavad tootmis- ja uurimisnõuetele

2. Tüüpilised rakendused

• Suure võimsusega raadiosagedusseadmed radari ja 6G side jaoks

• Kõrgepinge jõuelektroonika võrgule, andmekeskustele ja elektrisõidukitele

• Deep-ultraviolett (UVC) LED-id ja laserdioodid

• GaN-on-AlN epitaksiaalne kasv ja täiustatud heterostruktuuri seadmed

• Kõrgtemperatuurilised, kõrgsageduslikud ja karmi keskkonnaga pooljuhtkomponendid

3. Saadaolevad suurused ja kvaliteediklassid

VeTek pakub AlN vahvleid järgmistes standardvormingutes. Kohandatud suurusi ja spetsifikatsioone saab soovi korral arutada.

• 10 × 10 mm ruudukujulised aluspinnad

• 1-tollised (25,4 mm) vahvlid

• 2-tollised (50,8 mm) vahvlid

Kvaliteediklassid: P-klass (toode), R-klass (uuringud), D-klass (eksperimentaalne), eristatakse peamiselt HR-XRD õõtsuva kõvera FWHM ja üldise kristallide kvaliteedi järgi.

4. Peamised tehnilised andmed

Üldised parameetrid suuruste lõikes (tüüpilised väärtused; olenevalt klassist, kui märgitud):

Suurusepõhised geomeetrilised tolerantsid:

• 10×10 mm: Külje pikkus 10 mm ± 0,5 mm; TTV ≤ 15 μm; Vibu ≤ 15 μm

• 1-tolline: läbimõõt 25,4 mm ± 0,5 mm; Kasulik pind ≥ 90%; TTV ≤ 20 μm; Vibu ≤ 20 μm; Esmane tasapind (10-10) ± 5°, pikkus 8 mm ± 1 mm

• 2-tolline: läbimõõt 50,8 mm ± 0,5 mm; Kasulik pind ≥ 90%; TTV ≤ 30 μm; Vööri ≤ 30 μm; Esmane tasapinna pikkus 16 mm ± 2 mm

5. Miks valida VeTek AlN vahvlid?

Täiustatud pooljuhtmaterjalide ja -komponentide spetsialiseerunud tarnijana pakub VeTek Semiconductor:

• Kvaliteetsed AlN ühekristallplaadid kontrollitud kristallikvaliteedi ja epi-valmiduspindadega

• Mitu suurust ja klassi valikut, mis toetavad nii seadmete tootmist kui ka uurimisprogramme

• VeTeki pooljuhtmaterjalide portfelli täiendavad vahvli- ja substraadilahendused

• Tehniline tugi materjalide valikul ja protsesside sobitamisel

Meie AlN-plaadid aitavad klientidel kiirendada suure võimsusega RF-, kõrgepinge- ja sügava UV-kiirgusega optoelektrooniliste seadmete väljatöötamist, mis nõuavad ülilaia ribalaiuse, kõrge soojusjuhtivuse ja GaN-ühilduvuse ainulaadset kombinatsiooni, mida pakub alumiiniumnitriid.