PZT piesoelektrilised vahvlid (PZT Si/SOI-l)

1. Tehniline arhitektuur

Meie vahvlitel on keerukas mitmekihiline virnastruktuur, mis on loodud optimaalse adhesiooni, juhtivuse ja piesoelektrilise reaktsiooni tagamiseks keeruka MEMS-i töötlemise ajal:

 ●Ülemine elektrood (võtmekiht): Pt (plaatina).

● Piesokiht (tuumkiht): PZT.

● Vahekihid: sisaldab puhverkihti, põhjaelektroodi ja adhesioonikihti, et optimeerida terade orientatsiooni ja struktuuri stabiilsust.

● Substraat: Ühildub Si või SOI vahvlitega.

2. Kvaliteedi tagamine ja mikrostruktuuri analüüs

Tagame kõrge töökindluse läbi range tehnilise iseloomustuse:

 ●SEM-i analüüs: Skaneeriva elektronmikroskoopia (SEM) kujutised näitavad tiheda, pragudeta pinnamorfoloogiat ühtlase tera suuruse jaotusega, mis sobib ideaalselt suure töökindlusega MEMS-rakenduste jaoks.

 ●XRD iseloomustus: röntgendifraktsiooni (XRD) mustrid kinnitavad puhta perovskiitfaasi moodustumist tugeva (100) eelistatud orientatsiooniga, tagades maksimaalsed piesoelektrilised jõudluskoefitsiendid.

3. Tehnilised andmed (omadused)

4. Põhirakendused

 ● Piesoelektrilised mikrotöötlusega ultrahelimuundurid (pMUT): Kõrgsageduslikud miniatuursed massiivid sõrmejäljeanduritele, liigutuste tuvastamisele ja autode ultraheliradarile.

 ● Suhtlemine: Võti FBAR- või SAW-filtrite tootmiseks 5G/6G-s, et saavutada laiem ribalaius ja väiksem sisestuskadu.

 ● Akustilised MEMS-id: pakub MEMS-kõlaritele võimsat mööduvat reaktsiooni ja parandab MEMS-mikrofonide signaali-müra suhet (SNR).

 ● Täpne vedelikukontroll: Kiire vibratsioon d31 režiimi kaudu tindiprinteri prindipeade tilkade mahu täpseks reguleerimiseks nanoliitristes mõõtmetes.

 ● Meditsiin ja ilu (mikropumpamine): juhib suure töökindluse ja kompaktse suurusega meditsiinilisi nebulisaatoreid või kosmeetilisi ultrahelipumpasid.

5. Kohandusteenused

Lisaks standardsele Si-vahvlitele sadestamisele pakume ka kohandatud sadestamisteenuseid:

 ●Kile ja paksuse kohandamine: Konkreetsete kiletüüpide ja kohandatud paksuste sadestamine vastavalt projekteerimisnõuetele.

 ●OEM valukoda: klientidelt tarnitud vahvlite vastuvõtmine kvaliteetse piesoelektrilise õhukese kile kasvatamiseks.

 ●SOI substraadi tugi: spetsiaalne ladestamine SOI-plaatidele järgmiste spetsifikatsioonidega: