Sic-kaetud e-chuck

Kuna galliumnitriidist (GAN) saab kolmanda põlvkonna pooljuhtide põhimaterjal, laienevad selle rakendused kõrgsageduslikes, suure võimsusega ja optoelektroonilistes väljades, näiteks 5G kommunikatsioonipõhised jaamad, energiamoodulid ja LED-seadmed. Kuid pooljuhtide tootmisel, eriti söövitusprotsessis, tuleb vahvlitele viia kõrge temperatuuriga, kõrge keemilise korrosioonikeskkonna ja äärmiselt ülitäpse protsessinõuetega, mis esitavad vahvlite laagririistade jaoks äärmiselt kõrged tehnilised standardid.

Vetek Semiconductori SIC -keraamilised kaubaalused on mõeldud GAN -i vahvli söövitamiseks ja pakuvad teie tootmisprotsessi toetamiseks suurt puhtust, suurepärast soojust ja keemilist vastupidavust. See sobib plasma söövitamiseks (ICP/RIE) ja see on ideaalne valik tänapäevastes pooljuhtide tootmisseadmetes.

Põhilised tugevused

1. kõrge puhtus sic -keraamiline materjal

Keemiline stabiilsus: materjali puhtus on üle 99,5%ja Gani vahvlile pole reostust.

Kõrge kõvadus ja kulumiskindlus: kõvadus teemandi lähedal, suudab taluda kõrgsageduslikku kasutamist, nähtamatuid muutusi ja kriimustusi.

2. suurepärane termiline jõudlus

Kõrge soojusjuhtivus, GAN-ga sobitatud soojuspaisumistegur (CTE): vähendage söövitusprotsessis vahvli pragunemise riski.

3. super keemiline korrosioonikindlus

See võib pikka aega töötada suure fluoriidi, kloriidi ja muu söövitava gaasikeskkonna kontsentratsioonis.

4. täppiskujundus ja töötlemine

Pinna karedus ja lamedus tagavad sujuva vahvli paigutuse ja söövitamise ühtluse, et täita ülitäpse protsessi nõudeid.

Mõõtmeid, soonte, fikseeritud auke ja muid struktuure saab kohandada vastavalt kliendi nõuetele.

SIC-i kaetud e-chucki rakenduse väli

● Plasma söövitus (ICP/RIE)

See tagab vahvli fikseerimise ja tuge kõrgel temperatuuril ja kõrge keemilise korrosioonikeskkonnas, mis sobib GAN, SIC ja muude materjalide söövitamiseks.

● vahvli ülekandmine ja ladustamine

Pakkuge vahvli ohutuse kaitsmiseks tootmisprotsessis väga tasane ja reostusvaba platvorm.

Kohandatud teenused

See pooljuhtpakub kohandatud teenuseid teie konkreetsete protsessivajaduste rahuldamiseks:

● suuruse kohandamine: kaubaaluse suurust saab kohandada vastavalt vahvli suurusele (Ø4 ~ 12 tolli).

● Struktuuri optimeerimine: Toetage soon, positsioneerimisauk, fikseeritud punkt ja muu struktuuri kohandamine.

See pooljuhtSIC-i kaetud e-chucki toodete poed: