SIC ICP söövitusplaat

ICP söövitus (induktiivselt ühendatud plasma söövitamine) tehnoloogia on pooljuhtide valmistamisel täpne söövitusprotsess, mida tavaliselt kasutatakse ülitäpseks ja kvaliteetseks mustriülekandeks, mis sobib eriti sügava augu söövitamiseks, mikro-mustritöötluseks jne.

SemikoonSIC ICP söövitusplaat on spetsiaalselt ette nähtud ICP protsessi jaoks, kasutades kvaliteetseid SIC-materjale, ja see võib pakkuda suurepäraseid jõudlust kõrgel temperatuuril, tugevas söövitavas ja kõrge energia keskkonnas. Kandmise ja toetamise võtmekomponendina,ICP söövitusPlaat tagab stabiilsuse ja tõhususe söövitusprotsessi ajal.

SIC ICP söövitusplaatTooteomadused

● Kõrge temperatuuri tolerants

SIC ICP söövitusplaat talub temperatuurimuutusi kuni 1600 ° C, tagades stabiilse kasutamise kõrge temperatuuriga ICP söövituskeskkonnas ja vältides temperatuuri kõikumistest põhjustatud deformatsiooni või jõudluse halvenemist.

●  Suurepärane korrosioonikindlus

Räni karbiidimaterjalOskab tõhusalt vastu panna väga söövitavatele kemikaalidele nagu vesinikfluoriiid, vesinikkloriid, väävelhape jne, mis võivad söövitamise ajal kokku puutuda, tagades, et produkt ei kahjustaks pikaajalise kasutamise ajal.

●  Madal soojuspaisumistegur

SIC ICP söövitusplaadil on madal soojuspaisumistegur, mis võib säilitada hea mõõtmete stabiilsuse kõrge temperatuuriga keskkonnas, vähendada temperatuurimuutustest põhjustatud stressi ja deformatsiooni ning tagada täpne söövitusprotsess.

●  Suur kõvadus ja kulumiskindlus

SIC -i kõvadus on kuni 9 MOHS -i kõvadus, mis võib tõhusalt vältida mehaanilist kulumist, mis võib tekkida söövitusprotsessi ajal, pikendada tööiga ja vähendada asendussagedust.

● EXCellentne soojusjuhtivus

Suurepärane soojusjuhtivus tagabSic -salvvõib söövitusprotsessi ajal kiiresti soojuse hajutada, vältides soojuse kogunemisest põhjustatud kohalikku temperatuuri tõusu, tagades sellega söövitamisprotsessi stabiilsuse ja ühtluse.

Tugeva tehnilise meeskonna toel on Veteksemicon SIC ICP söövitussalv läbi erinevad keerulised projektid ja pakub kohandatud tooteid vastavalt teie vajadustele. Ootame teie järelepärimist.

CVD SIC põhilised füüsilised omadused: