CVD ränikarbiidiga (SiC) kaetud grafiidiga RTP RTA kandja

Toote omadused

· Põhivarustus:Mõeldud kiire termilise lõõmutamise (RTA) ja kiire termilise töötlemise (RTP) süsteemide jaoks.

· Primary Arakendus: Optimeeritud pooljuhtvahvlite lõõmutamise protsesside jaoks.

· Opehinnang Tetemperatuur:Stabiilne töö 200°C kuni 700°C.

· Excellent Therebaühtlus: Tagab ühtlase soojusjaotuse järjepidevaks vahvlite töötlemiseks.

· Madal osakeGgeneratsioon: Tihe CVD SiC kate minimeerib saastumist ja parandab toodangu saagikust.

· Suurepärane keemiline vastupidavus:Vastupidav oksüdatsioonile ja söövitavatele protsessigaasidele termilise töötlemise ajal.

· Silmapaistevg ThermAl-löögikindlus: Säilitab konstruktsiooni terviklikkuse korduvate kiirete kütte- ja jahutustsüklite kaudu.

· Pikk kasutusiga:Kulumiskindel SiC kate pikendab oluliselt komponentide eluiga ja vähendab hoolduskulusid.

· KohandatudTootmine:Saadaval erinevates suurustes ja konfiguratsioonides, et sobitada erinevaid RTP/RTA seadmeid.

Tehnilised andmed

Rakendused

·Kiire termiline lõõmutamine (RTA)

· Kiire termiline töötlemine (RTP)

· Ränivahvli lõõmutamine

· Dopandi aktiveerimine

· Oksüdatsioon

· Difusioon

·Liitpooljuhtide tootmine

·MEMS valmistamine

·Võimsuspooljuhtide töötlemine

KKK

1. Mis on RTP/RTA operaator?

RTP/RTA kandur on vahvli tugikomponent, mida kasutatakse kiire termilise töötlemise ja kiire termilise lõõmutamise süsteemides. See hoiab kindlalt pooljuhtplaate, tagades samal ajal ühtlase soojusülekande kogu termilise tsükli jooksul.

2. Miks eelistatakse CVD SiC katet?

Võrreldes palja grafiidiga pakub CVD SiC kate paremat oksüdatsioonikindlust, väiksemat osakeste teket, paremat keemilist stabiilsust ja oluliselt pikemat kasutusiga.

3. Kas VETEK saab pakkuda kohandatud RTP/RTA kandjaid?

Jah. VETEK pakub kliendi jooniste põhjal kohandatud RTP/RTA kandjaid.