Aixtron G10 tahke SiC planetaarreaktori komponendid

1. Põhifunktsioonid ja eelised

• Täiesti tihe, sideainevaba tahke SiC struktuur tagab suurepärase kulumis- ja korrosioonikindluse

• Suurepärane soojusjuhtivus ja soojuslöögikindlus temperatuuril üle 1500 °C

• Väga väike osakeste teke ja kõrge puhtusaste, minimeerides saastumise riski

• Silmapaistev keemiline inertsus SiC epitaksis kasutatavate protsessigaaside suhtes

• Pikk kasutusiga korduva kõrge temperatuuriga tsükli korral

• Täppistöödeldud kuni kitsaste mõõtmete tolerantsid tagavad usaldusväärse sobivuse ja protsessi stabiilsuse

 2. Tüüpilised rakendused

Neid tahke SiC tarvikuid kasutatakse Aixtron G10 reaktori peamistes funktsionaalsetes piirkondades, sealhulgas:

• Katteplaadid ja valitud katteelemendid

• Kaitserõngad ja kulumiskindlad komponendid

• Täppistihvtid, seibid ja väikesed konstruktsiooniosad

• Muud kohandatud kõrge puhtusastmega sisetükid, mis puutuvad kokku intensiivse gaasivoolu või termilise koormusega

Need toetavad stabiilset temperatuuri jaotust, ühtlast gaasi kohaletoimetamist ja madalat defektide tihedust suure mahuga SiC epitaksiaalse kasvu ajal võimsusega MOSFETide, dioodide ja nendega seotud lairibaseadmete jaoks.

3. Miks valida Aixtron G10 jaoks VeTek Solid SiC?

Pooljuhtkvaliteediga materjalide spetsialiseerunud tootjana pakub VeTek Semiconductor:

• Aixtron G10 süsteemide jaoks kohandatud kõrge puhtusastmega tahke ränikarbiku komponendid, näiteks: katterõngas, sise-/väliskatted, alla tõmbamine/tugiplaat, satelliitketas, sustseptor

• Range puhtuse kontroll ja täppis-CNC-töötlus

• Täiendavad lahendused, sealhulgas CVD SiC-ga kaetud grafiit ja TaC-ga kaetud osad täieliku soojusvälja katmiseks

• Spetsiaalsete protsessitingimuste ja reaktori konfiguratsiooniga kohandatud disainilahendused

Meie Solid SiC tarvikud aitavad klientidel maksimeerida Aixtron G10 platvormi tootlikkuse eeliseid – suur vahvliväljund, suurepärane paksus ja dopingu ühtlus ning konkurentsivõimelised omamiskulud –, pikendades samal ajal komponentide eluiga ja vähendades osakestega seotud saagikuse kadu.