Räni karbiidi sic vahvel paat

Veteksemicon SIC Wafer Boat on põhikandja, mis on loodud spetsiaalselt kõrge temperatuuriga pooljuhtide protsesside jaoks. Kasutades substraadina kõrge puhtusega isostaatiliselt pressitud grafiidi, kasutab see toode patenteeritud keemilise aurude sadestumistehnoloogiat, et moodustada pinnale tihe, mittepoorse räni karbiidi kaitsekiht.

See kiht ühendab sujuvalt grafiidi suurepärase soojusjuhtivuse ja räni karbiidi erakordse korrosioonikindlusega. Rangelt kontrollitud kattekiht saavutab paksuse 80–120 μm, takistades tõhusalt erinevatest happelistest ja aluselistest atmosfääridest korrosiooni, vähendades märkimisväärselt metalli saastumise riski. See säilitab struktuurilise stabiilsuse ja mõõtmete terviklikkuse isegi kõrge temperatuuriga keskkonnas, pakkudes vahvlitele usaldusväärset kaitset ja tuge kriitiliste protsesside ajal nagu oksüdeerimine, difusioon ja epitaksiaalne kasv, laiendades vahvli eluiga tõhusalt enam kui kolmel korral tavaliste grafiitpaatide puhul.

Ⅰ. Tehnilised parameetrid

Ⅱ. Veteksemicon sic vahvli paadi põhilised eelised

• Suurepärane korrosioonikindlus

Veteksemiconi vahvli paadi SIC-kattekiht ladestub meie patenteeritud kõrge temperatuuriga CVD-protsessi abil, mille tulemuseks on tihe ja ühtlane struktuur, mis on täiesti pooride ja pragudeta. See tahke barjäär isoleerib vahvlid tõhusalt ahju keskkonnast. Tugevad oksüdeerivad atmosfäärid, fluoritud ühendid ja muud söövitavad gaasid on selle kaitsekihi suhtes läbitungimatud. See tähendab, et teie vahvlid on saastumise eest kaitstud, samas kui paat ise jääb korduvate äärmuslike protsesside kaudu puutumatuks, laiendades märkimisväärselt oma kasutusaja.

• Ülikõrge puhtusmaterjalid

Mõistame, et isegi vähim saastumine võib muuta kogu partii vahvleid kasutuks. Seetõttu kontrollib Veteksemicon rangelt toorainet, kasutades imporditud isostaatiliselt pressitud grafiidi, puhtus ületab substraati 99,9995%. Sellele substraadile deponeeritud SIC -kattekiht saavutab ka 99,999% puhtuse, kriitiliste lisanditega nagu naatrium, kaalium, raud ja raskmetallid, mida hoitakse äärmiselt madalal tasemel (PPB). See lähedane sisemine puhtus tagab, et saasteained ei vabane kõrgel temperatuuril, välistades põhimõtteliselt vedajaga seotud probleemide tõttu seadme jõudluse halvenemise riski.

• Suurepärane termiline stabiilsus

Pooljuhtide tootmine nõuab äärmiselt järjepidevaid termilisi protsesse. Veteksemiconi vahvli paadi soojuspaisumistegur on hoolikalt kavandatud, et see vastaks räni vahvlitele. Kiire kuumutamise ja jahutamise ajal liiguvad paat ja vahvel sünkroonis, vähendades märkimisväärselt võredefektide ja termilise stressi põhjustatud väändumise riski. See talub pidevat töötemperatuuri kuni 1600 ℃, säilitades suurepärase mehaanilise tugevuse ja mõõtmete stabiilsuse isegi nendel kõrgetel temperatuuridel. See tagab korratavuse ja usaldusväärsuse igas protsessis, pakkudes tugeva aluse kiibi tootmise tolerantsi kontrollimiseks.

• Vastupidav mehaaniline tugevus

Meie toodete väärtus ei seisne mitte ainult alginvesteeringutes, vaid ka pikaajaliste omandiõiguse kuludes. Võrreldes traditsiooniliste kvartsi- või grafiitkomponentidega pakuvad Veteksemicon SIC -vahvlid erakordset kulumist ja löögikindlust. Nende kõrge pinna kõvadus on käitlemise ja puhastamise ajal vastu kriimustustele ja prahile. See sitkus võimaldab neil hõlpsalt vastu pidada üle 200 kõrgtemperatuurilise protsessitsükli ja vajaliku puhastusprotseduuri, vähendades märkimisväärselt hankekulusid, varude kulusid ja seadmete seisakuid, mis on seotud sagedase komponentide asendamisega.

• Ökoloogilise ahela kinnituse kinnitamine

Veteksemicon SIC Waferi paadi ökoloogiline ahela kontrollimine hõlmab toorainet tootmisele, on läbinud rahvusvahelise standardisertifikaadi ning sellel on mitmeid patenteeritud tehnoloogiaid, et tagada selle usaldusväärsus ja jätkusuutlikkus pooljuht ja uued energiavaldkonnad.

Ⅲ. Peamised rakendusväljad

Üksikasjalike tehniliste spetsifikatsioonide, valgete paberite või proovide testimise korraldamiseks pöörduge meie tehnilise toe meeskonna poole, et uurida, kuidas Veteksemicon võib teie protsessi tõhusust parandada.

Veteksemiconi toodete ladu