Räni karbiidi ja tantaalkarbiidikatete kodumaise tootjana suudab Vetek Semiconductor pakkuda SIC -i kaetud EPI -vastuvõtja täpse töötlemise ja ühtlase katte, kontrollides tõhusalt katte ja produkti puhtust alla 5 ppm. Toote elu on võrreldav SGL -iga. Tere tulemast meile küsima.
Võite olla kindel, et ostate meie tehasest SiC-kattega Epi-Susceptori.
Vetek Semiconductor SIC -i kaetud EPI -osutaja on epitaksiaalne tünn on spetsiaalne vahend pooljuhtide epitaksiaalse kasvuprotsessi jaoks, millel on palju eeliseid:
● Tõhus tootmisvõimsus: VeTek Semiconductori SiC-kattega Epi-Susceptor mahutab mitut vahvlit, mis võimaldab teostada samaaegselt mitme vahvli epitaksiaalset kasvatamist. See tõhus tootmisvõimsus võib oluliselt parandada tootmise efektiivsust ning vähendada tootmistsükleid ja kulusid.
● Optimeeritud temperatuuri reguleerimine: SIC -i kaetud EPI -osutaja on varustatud täiustatud temperatuurikontrollisüsteemiga, et soovitud kasvutemperatuuri täpselt juhtida ja säilitada. Stabiilne temperatuurikontroll aitab saavutada ühtlase epitaksiaalse kihi kasvu ning parandada epitaksiaalse kihi kvaliteeti ja järjepidevust.
● Ühtne atmosfääri jaotus: SiC-kattega Epi Susceptor tagab kasvu ajal ühtlase atmosfäärijaotuse, tagades, et iga vahvel puutub kokku samade atmosfääritingimustega. See aitab vältida vahvlite kasvuerinevusi ja parandab epitaksiaalse kihi ühtlust.
● Tõhus lisandite kontroll: SIC -i kaetud EPI -osutaja disain aitab vähendada lisandite tutvustamist ja levikut. See võib pakkuda head tihendamist ja atmosfääri juhtimist, vähendada lisandite mõju epitaksiaalse kihi kvaliteedile ning parandada seeläbi seadme jõudlust ja töökindlust.
● Paindlik protsesside väljatöötamine: Epi Susceptoril on paindlikud protsessiarenduse võimalused, mis võimaldavad kasvuparameetreid kiiresti reguleerida ja optimeerida. See võimaldab teadlastel ja inseneridel kiiresti protsesse arendada ja optimeerida, et rahuldada erinevate rakenduste ja nõuete epitaksiaalse kasvu vajadusi.
CVD sic -katte põhilised füüsikalised omadused:
CVD sic -katte füüsikalised omadused
Omand
Tüüpiline väärtus
Kristalli struktuur
FCC β faasi polükristalliline, peamiselt (111) orienteeritud
SIC kattetihedus
3,21 g/cm³
CVD SiC katte kõvadus
2500 Vickersi kõvadus (koormus 500 g)
Tera suurus
2-10 μm
Keemiline puhtus
99,99995%
Soojusmaht
640 J·kg-1· K-1
Sublimatsiooni temperatuur
2700 ℃
Paindetugevus
415 MPA RT 4-punktiline
Youngi moodul
430 GPA 4pt Bend, 1300 ℃
Soojusjuhtivus
300W · M-1· K-1
Soojuspaisumine (CTE)
4,5 × 10-6K-1
VeTek pooljuhtSeega kaetud EPI õppemaksTootmispood
For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
Kasutame küpsiseid, et pakkuda teile paremat sirvimiskogemust, analüüsida saidi liiklust ja isikupärastada sisu. Seda saiti kasutades nõustute meie küpsiste kasutamisega. Privaatsuspoliitika