SIC kaetud sügava UV LED -i vastuvõtja

SIC kaetud sügava UV LED -osutaja on tuumalaagri komponentMOCVD (metallist orgaaniline keemiline aurude sadestumine) seadmed. Ostuvõtja mõjutab otseselt sügava UV -LED -epitaksiaalse kasvu ühtlust, paksuse kontrolli ja materiaalset kvaliteeti, eriti alumiiniumnitriidi (ALN) epitaksiaalse kihi kasvu kasvu korral, millel on kõrge alumiiniumsisaldus, mis on ülioluline.

SIC -kaetud sügava UV -LED -osutaja on spetsiaalselt optimeeritud sügava UV LED -epitaksia jaoks ja see on täpselt loodud termiliste, mehaaniliste ja keemiliste keskkonnaomaduste põhjal, et täita rangeid protsessinõudeid.

Vetek Semiconductor kasutab täiustatud töötlemistehnoloogiat, et tagada vastuvõtja ühtlane soojusjaotus töötemperatuuri vahemikus, vältides temperatuurigradiendi põhjustatud epitaksiaalse kihi ebaühtlast kasvu. Täpsus töötlemine kontrollib pinna karedust, minimeerib osakeste saastumist ja parandab vahvli pinna kontakti soojusjuhtivuse efektiivsust.

Vetek Semiconductor kasutab materjalina SGL grafiiti ja pinda töödeldakseCVD SIC katmine, mis talub pikka aega NH3, HCl ja kõrge temperatuuri atmosfääri. Vetek Semiconductori SIC -kattega sügav UV -LED -osutaja vastab ALN/GAN epitaksiaalsete vahvlite soojuspaisumiskoefitsiendile, vähendades protsessi ajal soojuspinge põhjustatud vahvli väändumist või pragunemist.

Kõige tähtsam on see, et Vetek Semiconductori SIC -kattega sügav UV -LED -osutaja kohaneb suurepäraselt MOCVD peavoolu varustusega (sealhulgas Veeco K465I, Epik 700, Aixtron Crius jne). Toetab vahvli suuruse (2 ~ 8 tolli), vahvli pesa kujundamise, protsessi temperatuuri ja muude nõuete jaoks kohandatud teenuseid.

Rakenduse stsenaariumid:

● Sügav UV LED -i ettevalmistamine: Rakendatav riba seadmete epitaksiaalse protsessi suhtes alla 260 nm (UV-C desinfitseerimine, steriliseerimine ja muud väljad).

● Nitriidi pooljuht epitaksia: Kasutatakse pooljuhtmaterjalide, näiteks galliumnitriidi (GAN) ja alumiiniumnitriidi (ALN) epitaksiaalse ettevalmistamiseks.

● Teadusuuringute epitaksiaalsed katsed: Sügavad UV -epitaksia ja uued materjali arendamise katsed ülikoolides ja teadusasutustes.

Tugeva tehnilise meeskonna toel on Vetek Semiconductor võimeline arendama unikaalseid spetsifikatsioone ja funktsioone, vastavalt klientide vajadustele, toetama konkreetseid tootmisprotsesse ja osutab pikaajalisi teenuseid.

CVD SIC -kattekile SEM -andmed:

CVD sic -katte põhilised füüsikalised omadused:

See pooljuhtSIC kaetud sügava UV -LED -i vastuvõtja tootepoed: