Tooted

Veteksemicon ränikarbiidi kandeplaat LED-söövitamiseks, mis on spetsiaalselt loodud LED-kiibi tootmiseks, on söövitusprotsessis kuluv tuum. Valmistatud täppispaagutatud kõrge puhtusastmega ränikarbiidist, pakub see erakordset keemilist vastupidavust ja mõõtmete stabiilsust kõrgel temperatuuril, olles tõhusalt vastupidav tugevate hapete, aluste ja plasma korrosioonile. Selle vähesed saasteomadused tagavad LED-epitaksiaalplaatide kõrge saagikuse, samas kui selle vastupidavus, mis ületab tunduvalt traditsiooniliste materjalide oma, aitab klientidel vähendada üldisi tegevuskulusid, muutes selle usaldusväärseks valikuks söövitusprotsessi tõhususe ja järjepidevuse parandamiseks.

Veteksemicon PECVD jaoks mõeldud grafiitpaat on täppistöödeldud kõrge puhtusastmega grafiidist ja loodud spetsiaalselt plasmaga täiustatud keemilise aurustamise-sadestamise protsesside jaoks. Kasutades ära oma sügavaid teadmisi pooljuhtide soojusvälja materjalidest ja täppistöötluse võimalusi, pakume grafiitpaate, millel on erakordne termiline stabiilsus, suurepärane juhtivus ja pikk kasutusiga. Need paadid on loodud tagama väga ühtlase õhukese kile sadestumise igale vahvlile nõudlikus PECVD protsessikeskkonnas, parandades protsessi saagist ja tootlikkust.

Veteksemiconi CVD TaC kaetud grafiitrõngas on loodud vastama pooljuhtplaatide töötlemise äärmuslikele nõudmistele. Kasutades keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) tehnoloogiat, kantakse kõrge puhtusastmega grafiidist aluspindadele tihe ja ühtlane tantaalkarbiidi (TaC) kate, mis saavutab erakordse kõvaduse, kulumiskindluse ja keemilise inertsuse. Pooljuhtide valmistamisel kasutatakse CVD TaC-ga kaetud grafiitrõngast laialdaselt MOCVD-, söövitus-, difusiooni- ja epitaksiaalsetes kasvukambrites, mis toimivad vahvlikandjate, sustseptorite ja varjestussõlmede peamise konstruktsiooni- või tihenduskomponendina. Ootan teie edasist konsultatsiooni.

VETEKi toodetud poorne TaC-ga kaetud grafiitrõngas kasutab kerget poorset grafiidist substraati ja on kaetud kõrge puhtusastmega tantaalkarbiidkattega, millel on suurepärane vastupidavus kõrgetele temperatuuridele, söövitavatele gaasidele ja plasma erosioonile.

Veteksemiconi ränikarbiidist konsoolilaba on loodud täiustatud vahvlite töötlemiseks pooljuhtide tootmises. Kõrge puhtusastmega SiC-st valmistatud see tagab suurepärase termilise stabiilsuse, suurepärase mehaanilise tugevuse ja suurepärase vastupidavuse kõrgetele temperatuuridele ja söövitavale keskkonnale. Need funktsioonid tagavad vahvlite täpse käsitsemise, pikema kasutusea ja usaldusväärse jõudluse sellistes protsessides nagu MOCVD, epitaksimine ja difusioon. Tere tulemast konsulteerima.

Veteksemicon SiC keraamiline vaakumpadrun vahvlitele on loodud pakkuma pooljuhtplaatide töötlemisel erakordset täpsust ja usaldusväärsust. Kõrge puhtusastmega ränikarbiidist valmistatud see tagab suurepärase soojusjuhtivuse, keemilise vastupidavuse ja suurepärase mehaanilise tugevuse, muutes selle ideaalseks nõudlikeks rakendusteks, nagu söövitamine, sadestamine ja litograafia. Selle ülitasane pind tagab vahvlite stabiilse toe, minimeerides defekte ja parandades protsessi tootlikkust. see vaakumpadrun on usaldusväärne valik suure jõudlusega vahvlite käsitsemiseks.