Oksüdeerimine ja difusiooniahi

Oksüdatsiooni- ja difusiooniahjusid kasutatakse erinevates valdkondades, näiteks pooljuhtide seadmed, diskreetsed seadmed, optoelektroonilised seadmed, elektrienergiaseadmed, päikeseelemendid ja suuremahulised integreeritud vooluahela tootmine. Neid kasutatakse protsesside jaoks, sealhulgas vahvlite difusioon, oksüdeerimine, lõõmutamine, legeerimine ja paagutamine.

Vetek Semiconductor on juhtiv tootja, kes on spetsialiseerunud kõrge puiduga grafiidi, räni karbiidi ja kvartsikomponentide tootmisele oksüdatsiooni- ja difusiooniahjudes. Oleme pühendunud kõrgekvaliteediliste ahjukomponentide pakkumisele pooljuhtide ja fotogalvaaniliste tööstusharude jaoks ning oleme pinnakatte tehnoloogia esirinnas, näiteks CVD-SIC, CVD-TAC, pürokarbon jne.

Vetek Semiconductor räni karbiidikomponentide eelised:

● Kõrge temperatuuri takistus (kuni 1600 ℃)

● Suurepärane soojusjuhtivus ja termiline stabiilsus

● Hea keemiline korrosioonikindlus

● Termilise laienemise madal koefitsient

● Suur tugevus ja kõvadus

● pikk kasutulu

Oksüdatsiooni- ja difusiooniahjudes nõuavad kõrge temperatuuri ja söövitava gaaside olemasolu tõttu paljude komponentide kasutamist kõrgtemperatuuri ja korrosioonikindlate materjalide kasutamist, mille hulgas on räni karbiid (SIC) tavaliselt kasutatav valik. Järgmised on tavalised räni karbiidi komponendid, mida leidub oksüdatsiooni ahjudes ja difusiooniahjudes:

● vahvlipaat

Ränikarbiidi vahvlipaat on konteiner, mida kasutatakse räni vahvlite kandmiseks, mis talub kõrgeid temperatuure ega reageeri räni vahvlitega.

● Ahju toru

Ahju toru on difusiooniahju põhikomponent, mida kasutatakse räni vahvlite majutamiseks ja reaktsioonikeskkonna juhtimiseks. Ränikarbiidi ahjutorudel on suurepärane kõrgtemperatuur ja korrosioonikindluse jõudlus.

● Defletiplaat

Kasutatakse õhuvoolu ja temperatuuri jaotuse reguleerimiseks ahju sees

● Termopaari kaitsetoru

Kasutatakse termopaaride mõõtes temperatuuri kaitsmiseks otsese kokkupuute eest söövitavate gaaside abil.

● konsooli aeru

Ränikarbiidi konsoolide aerud on kõrge temperatuuri ja korrosiooni suhtes vastupidavad ning neid kasutatakse ränipaatide või kvartspaatide transportimiseks räni vahvlitega difusiooniahju torudesse.

● Gaasipihusti

Kasutades reaktsioonigaasi sisestamiseks ahju, peab see olema kõrge temperatuuri ja korrosiooni suhtes vastupidav.

● paadikandja

Ränikarbiidi vahvli paadikandjat kasutatakse räni vahvlite fikseerimiseks ja toetamiseks, millel on eelised nagu kõrge tugevus, korrosioonikindlus ja hea struktuuriline stabiilsus.

● ahju uks

Ränikarbiidikatete või komponente võib kasutada ka ahju ukse siseküljel.

● Kütteelement

Räni karbiidi kütteelemendid sobivad kõrgete temperatuuride jaoks, suure võimsusega ja võivad temperatuuri kiiresti üle 1000 ℃ tõsta.

● SIC vooder

Kasutatakse ahjutorude siseseina kaitsmiseks, see aitab vähendada soojusenergia kadumist ja taluda karmi keskkonda nagu kõrge temperatuur ja kõrge rõhk.

View as

SiC vahvlipaat

SiC vahvlipaati kasutatakse vahvli kandmiseks, peamiselt oksüdatsiooni- ja difusiooniprotsessiks, et tagada temperatuuri ühtlane jaotumine vahvli pinnal. SiC materjalide kõrge temperatuuristabiilsus ja kõrge soojusjuhtivus tagavad tõhusa ja usaldusväärse pooljuhtide töötlemise. Vetek pooljuht on pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele konkurentsivõimeliste hindadega.

Vaata rohkem >> Saada päring >>

SIC protsessitoru

VeTek Semiconductor pakub pooljuhtide tootmiseks suure jõudlusega SiC protsessitorusid. Meie SiC protsessitorud paistavad silma oksüdatsiooni- ja difusiooniprotsessides. Suurepärase kvaliteediga ja viimistletud torud pakuvad kõrgel temperatuuril stabiilsust ja soojusjuhtivust tõhusaks pooljuhtide töötlemiseks. Pakume konkurentsivõimelist hinda ja soovime olla teie pikaajaline partner Hiinas.

Vaata rohkem >> Saada päring >>

Sic konsooli aeru

VeTek Semiconductori SiC konsoolilaba kasutatakse kuumtöötlusahjudes vahvlipaatide käsitsemiseks ja toetamiseks. SiC materjali kõrge temperatuuri stabiilsus ja kõrge soojusjuhtivus tagavad pooljuhtide töötlemise protsessis kõrge efektiivsuse ja töökindluse. Oleme pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele konkurentsivõimeliste hindadega ja loodame saada teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.

Vaata rohkem >> Saada päring >>

Ränikarbiidist vahvelpaat horisontaalse ahju jaoks

SiC vahvlipaadil on kõrge materjali puhtuse nõue. Vetek Semiconductor varustab selle tootega ränikarbiidi puhtusastmega ＞ 99,96% ümberkristallitud ränikarbiidi. VeTek Semiconductor on Hiinas professionaalne horisontaalse ahju jaoks mõeldud ränikarbiidist vahvelpaadi tootja ja tarnija, kellel on aastatepikkune kogemus teadus- ja arendustegevuse ning tootmist, suudab kvaliteeti hästi kontrollida ja pakkuda konkurentsivõimelist hinda. Võite olla kindel, et ostate meilt ränikarbiidist vahvelpaati horisontaalse ahju jaoks.

Vaata rohkem >> Saada päring >>

SiC-kattega ränikarbiidist vahvelpaat

Ränikarbiidiga kaetud ränikarbiidist vahvlipaat on konstrueeritud 165 pesaga vahvlite kandmiseks. VeTek Semiconductor on Hiinas professionaalne ränikarbiidiga kaetud ränikarbiidist vahvlite tootja ja tarnija, kellel on aastatepikkune uurimis- ja arendustegevuse ning tootmise kogemus. hind. Tere tulemast meie tehast külastama ja edasist koostööd arutama.

Vaata rohkem >> Saada päring >>

Räni karbiidi konsool mõla

Vetek Semiconductori räni karbiidi konsooli aeru on pooljuhtide tootmisprotsessis oluline komponent, mis sobib eriti difusiooniahjude või LPCVD ahjude jaoks kõrge temperatuuriga protsessides nagu difusioon ja RTP. Meie räni karbiidi konsooli aeru on hoolikalt kujundatud ja toodetud suurepärase kõrge temperatuuriga vastupidavuse ja mehaanilise tugevusega ning suudab vahvleid ohutult ja usaldusväärselt transportida protsessitorusse karmides protsessitingimustes mitmesuguste kõrgete temperatuuride protsesside jaoks, näiteks difusioon ja RTP. Ootame huviga teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.

Vaata rohkem >> Saada päring >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

Hiinas professionaalse Oksüdeerimine ja difusiooniahi tootja ja tarnijana on meil oma tehas. Ükskõik, kas vajate oma piirkonna konkreetsete vajaduste rahuldamiseks kohandatud teenuseid või soovite Hiinas valmistatud täiustatud ja vastupidavat Oksüdeerimine ja difusiooniahi osta, võite jätta meile sõnumi.

QR kood

Meist

Tooted

Võta meiega ühendust

Telefon
+86-18069220752
Faks
+86-579-87223657
E-post
anny@veteksemi.com
Aadress
Wangda tee, Ziyangi tänav, Wuyi maakond, Jinhua linn, Zhejiangi provints, Hiina

Veebi menüü

Tooteotsing

Keel

Välju menüüst

Oksüdeerimine ja difusiooniahi

Vetek Semiconductor räni karbiidikomponentide eelised:

SiC vahvlipaat

SIC protsessitoru

Sic konsooli aeru

Ränikarbiidist vahvelpaat horisontaalse ahju jaoks

SiC-kattega ränikarbiidist vahvelpaat

Räni karbiidi konsool mõla

Saada päring

QR kood

Meist

Tooted

Võta meiega ühendust

Telefon

Faks

E-post

Aadress