Horisontaalne SIC vahvli kandja

VeTeki pooljuhtHorisontaalne SiC vahvlikandja/Paadil on äärmiselt kõrge sulamistemperatuur (umbes 2700 ° C), mis võimaldabHorisontaalne SiC vahvlikandja/ Paat töötab stabiilselt kõrge temperatuuriga keskkondades ilma deformatsiooni või lagunemiseta. See funktsioon on eriti oluline pooljuhtide tootmisprotsessis, eriti sellistes protsessides nagu kõrgtemperatuuriline lõõmutamine või keemiline aurustamine-sadestamine (CVD).

SelleHorisontaalne SiC vahvlikandja/Paat mängib vahvlikandjate kandmisel järgmisi ülesandeid:

Ränivahvli kandmine ja tugi: Horisontaalset SiC Wafer Boatit kasutatakse peamiselt räniplaatide kandmiseks ja toetamiseks pooljuhtide valmistamise ajal. See suudab mitu räniplaati kindlalt kokku panna, et tagada nende hea asend ja stabiilsus kogu töötlemisprotsessi vältel.

Ühtlane kuumutamine ja jahutus: SIC -i kõrge soojusjuhtivuse tõttu saab vahvlipaat tõhusalt jaotada soojust ühtlaselt kõigile ränivahvlitele. See aitab saavutada räni vahvlite ühtlase kuumutamise või jahutamise kõrgtemperatuuriga töötlemise ajal, tagades töötlemisprotsessi järjepidevuse ja usaldusväärsuse.

Saastumist vältida: SiC keemiline stabiilsus võimaldab sellel hästi toimida kõrge temperatuuriga ja söövitava gaasi keskkonnas, vähendades seeläbi räniplaatide kokkupuudet võimalike saasteainete või reaktiividega, tagades räniplaatide puhtuse ja kvaliteedi.

Tegelikult võib horisontaalne SIC vahvlipaat mängida ülaltoodud rolli oma ainulaadsete tooteomaduste tõttu:

Suurepärane keemiline stabiilsus: SIC -materjalil on suurepärane korrosioonikindlus mitmesuguste keemiliste söötmete suhtes. Söövitavate gaaside või vedelike töötlemise käigus suudab SIC vahvlipaat tõhusalt vastu keemilisele korrosioonile ja kaitsta räni vahvleid saastumise või kahjustuste eest.

Kõrge soojusjuhtivus: SIC kõrge soojusjuhtivus aitab kanduriprotsessis soojust ühtlaselt jaotada ja soojuse kogunemist vähendada. See võib parandada temperatuuri juhtimise täpsust täpse töötlemise ajal ja tagada räni vahvlite ühtlane kuumutamine või jahutamine.

Madal soojuspaisumistegur: SiC materjali madal soojuspaisumistegur tähendab, et SiC Wafer Boat mõõtmete muutus on temperatuurimuutuste ajal väga väike. See aitab säilitada mõõtmete stabiilsust kõrgel temperatuuril töötlemisel ja hoiab ära räniplaatide deformatsiooni või positsiooni nihkumise, mis on põhjustatud soojuspaisumisest.

Horisontaalse SIC vahvli kandja põhilised füüsikalised omadused:

Võrrelge pooljuhtide tootmispoodi:

Ülevaade pooljuhtkiipide epitaksitööstuse ahelast: