Oksüdatsiooni- ja difusiooniahi

Oksüdatsiooni- ja difusioonahjusid kasutatakse erinevates valdkondades, nagu pooljuhtseadmed, diskreetseadmed, optoelektroonilised seadmed, jõuelektroonilised seadmed, päikesepatareid ja laiaulatuslik integraallülituste tootmine. Neid kasutatakse protsessides, sealhulgas vahvlite difusioon, oksüdeerimine, lõõmutamine, legeerimine ja paagutamine.

VeTek Semiconductor on juhtiv tootja, kes on spetsialiseerunud kõrge puhtusastmega grafiidi-, ränikarbiidi- ja kvartskomponentide tootmisele oksüdatsiooni- ja difusiooniahjudes. Oleme pühendunud kvaliteetsete ahjukomponentide pakkumisele pooljuht- ja fotogalvaanilisele tööstusele ning oleme pinnakattetehnoloogia esirinnas, nagu CVD-SiC, CVD-TaC, pürosüsinik jne.

VeTek Semiconductor ränikarbiidi komponentide eelised:

Kõrge temperatuuritaluvus (kuni 1600 ℃)

Suurepärane soojusjuhtivus ja termiline stabiilsus

Hea keemilise korrosioonikindlus

Madal soojuspaisumistegur

Kõrge tugevus ja kõvadus

Pikk kasutusiga

Oksüdatsiooni- ja difusiooniahjudes nõuavad kõrge temperatuuri ja söövitavate gaaside olemasolu tõttu paljud komponendid kõrge temperatuuriga ja korrosioonikindlate materjalide kasutamist, mille hulgas on ränikarbiid (SiC) tavaliselt kasutatav valik. Järgmised on levinud ränikarbiidi komponendid, mida leidub oksüdatsiooni- ja difusiooniahjudes:

Vahvlipaat

Ränikarbiidist vahvlipaat on ränivahvlite vedamiseks kasutatav konteiner, mis talub kõrgeid temperatuure ega reageeri räniplaatidega.

Ahju toru

Ahju toru on difusioonahju põhikomponent, mida kasutatakse räniplaatide mahutamiseks ja reaktsioonikeskkonna juhtimiseks. Ränikarbiidist ahjutorudel on suurepärane kõrge temperatuuri- ja korrosioonikindlus.

Deflektorplaat

Kasutatakse õhuvoolu ja temperatuurijaotuse reguleerimiseks ahju sees

Termopaari kaitsetoru

Kasutatakse temperatuuri mõõtmise termopaaride kaitsmiseks otsese kokkupuute eest söövitavate gaasidega.

Konsoolne mõla

Ränikarbiidist konsoollabad on vastupidavad kõrgele temperatuurile ja korrosioonile ning neid kasutatakse ränipaatide või ränivahvleid kandvate kvartspaate transportimiseks difusioonahju torudesse.

Gaasipihusti

Kasutatakse reaktsioonigaasi ahju sisestamiseks, see peab olema vastupidav kõrgele temperatuurile ja korrosioonile.

Paadikandja

Ränikarbiidist vahvlikandurit kasutatakse räniplaatide kinnitamiseks ja toetamiseks, millel on sellised eelised nagu kõrge tugevus, korrosioonikindlus ja hea konstruktsiooni stabiilsus.

Ahju uks

Ahju ukse siseküljel võib kasutada ka ränikarbiidist katteid või komponente.

Kütteelement

Ränikarbiidist kütteelemendid sobivad kõrgete temperatuuride, suure võimsusega ja võivad kiiresti tõsta temperatuuri üle 1000 ℃.

SiC vooder

Kasutatakse ahju torude siseseina kaitsmiseks, see võib aidata vähendada soojusenergia kadu ja taluda karmi keskkonda, nagu kõrge temperatuur ja kõrge rõhk.