SiC-kattega grafiidisusseptor ASM-i jaoks

Üldine tooteteave

Toote äritingimused

✔ Rakendus: Veteksemicon SiC-ga kaetud grafiidist substraat on ASM-seeria epitaksiaalseadmete peamine kulumaterjal. See toetab otseselt vahvlit ja tagab ühtlase ja stabiilse soojusvälja kõrgel temperatuuril toimuva epitakseerimise ajal, muutes selle põhikomponendiks täiustatud pooljuhtmaterjalide, nagu GaN ja SiC, kvaliteetse kasvu tagamiseks.

✔ Teenused, mida saab pakkuda: kliendirakenduse stsenaariumide analüüs, materjalide sobitamine, tehniliste probleemide lahendamine. 

✔ Ettevõtte profiil：Veteksemiconil on 2 laboratooriumit, ekspertide meeskond, kellel on 20-aastane materjalikogemus, teadus- ja arendustegevuse ning tootmise, testimise ja kontrollimise võimalused.

Tehnilised parameetrid

Veteksemicon SiC kaetud grafiidisusseptor ASM-i südamiku eelisteks

1. Äärmuslik puhtus ja madal defektide määr

Kasutades kõrge puhtusastmega peenosakeste klassi spetsiaalset grafiidist substraati koos meie rangelt kontrollitud keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) katmisprotsessiga, tagame, et kate on tihe, aukudeta ja lisanditeta. See vähendab oluliselt tahkete osakeste saastumise ohtu epitaksiaalprotsessi ajal, pakkudes puhta substraadi keskkonna kvaliteetsete epitaksiaalsete kihtide kasvatamiseks.

2. Suurepärane korrosioonikindlus ja kulumiskindlus

Pürolüütiline ränikarbiidkate on äärmiselt kõrge kõvaduse ja keemilise inertsusega, mis takistab tõhusalt räniallikate (nagu SiH4, SiHCl3), süsinikuallikate (nt C3H8) ja söövitavate gaaside (nt HCl, H2) erosiooni kõrgetel temperatuuridel. See pikendab oluliselt aluse hooldustsüklit ja vähendab komponentide vahetamisest tingitud masina seisakuid.

3. Suurepärane termiline ühtlus ja stabiilsus

Optimeerisime soojusvälja jaotust töötemperatuuri vahemikus substraadi struktuuri täpse disaini ja katte paksuse reguleerimise abil. See tähendab otseselt epitaksiaalse vahvli paksuse ja takistuse ühtlust, aidates kaasa kiibi tootmise paranemisele.

4. Suurepärane katte nakketugevus

Unikaalne pinna eeltöötlus ja gradientkatte tehnoloogia võimaldavad ränikarbiidkattel moodustada grafiidist aluspinnaga tugeva sidekihi, vältides tõhusalt katte koorumist, ketendust või pragunemist, mis võivad tekkida pikaajalise termilise tsükli käigus.

5. Täpne suurus ja struktuurne replikatsioon

Meil on küpsed CNC-töötlemis- ja testimisvõimalused, mis võimaldavad meil täielikult kopeerida algse aluse keerulist geomeetriat, õõnsuse mõõtmeid ja paigaldusliideseid, tagades täiusliku sobitamise ja plug-and-play funktsionaalsuse kliendi platvormiga.

6. Ökoloogilise ahela kontrollimise kinnitus

Veteksemicon SiC kaetud grafiidisustseptor ASM-i ökoloogilise ahela verifitseerimiseks hõlmab toorainet kuni tootmiseni, on läbinud rahvusvahelise standardi sertifikaadi ja omab mitmeid patenteeritud tehnoloogiaid, mis tagavad selle töökindluse ja jätkusuutlikkuse pooljuhtide ja uutes energiavaldkondades.

Üksikasjalike tehniliste spetsifikatsioonide, valgete paberite või proovitestimise korra saamiseks võtke ühendust meie tehnilise toe meeskonnaga, et uurida, kuidas Veteksemicon saab teie protsessi tõhusust tõsta.

Peamised rakendusväljad

Veteksemiconi toodete kauplus