Kiire termiline lõõmutav sustseptor

VeTek Semiconductor Rapid Thermal Annealing Susceptor on kõrge kvaliteediga ja pika elueaga, tere tulemast meie käest päringule.

Kiire soojusjuur (RTA) on pooljuhtide seadme valmistamisel kasutatud kiire termilise töötlemise ülioluline alamhulk. See hõlmab üksikute vahvlite kuumutamist, et muuta nende elektrilisi omadusi erinevate sihipäraste kuumtöötluste kaudu. RTA protsess võimaldab aktiveerida dopante, kilede-filmide või kiledevahelise substraadi liideste muutmist, deponeeritud kilede tihendamist, täiskasvanud kileriikide modifitseerimist, ioonide implantatsiooni kahjustuste parandamist, dopandi liikumist ja dopantide juhtimist filmide vahel või vahvli substraadi.

VeTeki pooljuhttoode Rapid Thermal Annealing Susceptor mängib RTP protsessis üliolulist rolli. See on valmistatud kõrge puhtusastmega grafiitmaterjalist, mis on kaetud inertsest ränikarbiidist (SiC). SiC-kattega ränisubstraat talub kuni 1100°C temperatuure, tagades töökindluse ka ekstreemsetes tingimustes. SiC kate tagab suurepärase kaitse gaasilekke ja osakeste levimise eest, tagades toote pikaealisuse.

Täpse temperatuurikontrolli säilitamiseks on kiip kapseldatud kahe kõrge puhtusastmega grafiitkomponendi vahele, mis on kaetud SiC-ga. Täpsed temperatuurimõõtmised on saavutatavad integreeritud kõrgtemperatuursete andurite või aluspinnaga kontaktis olevate termopaaride abil.

CVD SiC katte peamised füüsikalised omadused:

Võrrelge pooljuhtide tootmispoodi ：

Ülevaade pooljuhtkiipide epitaksitööstuse ahelast: