Tööstusuudised

Pooljuhtide kõrgtemperatuurilistes protsessides tugineb vahvlite käsitsemine, toetamine ja termiline töötlemine spetsiaalsele tugikomponendile - vahvlipaadile. Protsessi temperatuuride tõustes ning puhtuse ja osakeste kontrollimise nõuete suurenedes paljastavad traditsioonilised kvartsvahvlipaadid järk-järgult sellised probleemid nagu lühike kasutusiga, kõrge deformatsioonikiirus ja halb korrosioonikindlus.

Ränikarbiidsubstraatide tööstuslikul tootmisel ei ole ühe kasvuperioodi edu lõppeesmärk. Tõeline väljakutse seisneb selles, et erinevate partiide, tööriistade ja ajaperioodide lõikes kasvatatud kristallid säilitavad kõrge järjepidevuse ja kvaliteedi korratavuse. Selles kontekstis ületab tantaalkarbiidi (TaC) katte roll põhikaitsest – sellest saab võtmetegur protsessiakna stabiliseerimisel ja toote saagise kaitsmisel.

​Ränikarbiidi (SiC) PVT kasv hõlmab tugevat termilist tsüklit (toatemperatuur üle 2200 ℃). Katte ja grafiidist aluspinna vahel tekkiv tohutu termiline pinge soojuspaisumistegurite (CTE) mittevastavuse tõttu on põhiprobleem, mis määrab katte eluea ja kasutuskindluse.