Tööstusuudised

Poorne SIC -keraamiline plaat on üks peamisi materjale pooljuhtide tootmise valdkonnas. Oma ainulaadse struktuuri ja suurepäraste füüsiliste omaduste abil on poorne sic -keraamiline ketas muutunud asendamatuks võtmekomponendiks kõrgel temperatuuril ja söövitavates keskkondades. Selles artiklis analüüsime sügavalt selle füüsilisi omadusi, rakenduse stsenaariume ja valiku eeliseid.

Quartzi paat on peamine koormuse kandv komponent, mida kasutatakse pooljuhtide tootmisprotsessis. Seda kasutatakse peamiselt vahvlite kõrgtemperatuuri töötlemiseks, näiteks difusioon, oksüdeerimine ja lõõmutamine. Selle suurepärane termiline stabiilsus, madala reostuse omadused ja korrosioonikindlus muudavad selle pooljuhtide tööstuses hädavajalikuks materjaliks. See artikkel täpsustab materiaalseid, füüsilisi omadusi, klassifitseerimist, kvartspaadi rakendusstsenaariume ja selle erinevusi PECVD grafiitpaadist.

PECVD grafiidipaadi põhimaterjal on kõrge puhtusega isotroopne grafiidimaterjal (puhtus on tavaliselt ≥99,999%), millel on suurepärane elektrijuhtivus, soojusjuhtivus ja tihedus. Võrreldes tavaliste grafiidipaatidega, on PECVD grafiidipaatidel palju füüsilisi ja keemilisi omadusi eeliseid ning neid kasutatakse peamiselt pooljuhtide ja fotogalvaaniliste tööstusharudes, eriti PECVD ja CVD protsessides.

MOCVD grafiidialused mängivad olulist rolli epitaksiaalses protsessis. See artikkel annab üksikasjaliku analüüsi MOCVD grafiidisalvede valimise kohta materiaalsete omaduste ja rakenduse stsenaariumide vaatenurgast.

Grafiidimaterjalidel on lai valik rakendusstsenaariume. Nende hulgas on isotroopne grafiit ja silikoniseeritud grafiit kaks peamist tüüpi grafiidimaterjali ning nende omadused, rakenduse stsenaariumid ja eelised on oluliselt erinevad. See ajaveeb viib võrdleva analüüsi kolmest aspektist: struktuuriomadused, rakenduse stsenaariumid ja toote eelised.

Räni karbiidi keraamika, mida üldiselt tuntakse kui SIC -keraamikat, on mitmekülgne materjal, millel on ainulaadsed omadused ja lai valik rakendusi erinevates tööstusharudes. Järgnev on üksikasjalik arutelu selle materiaalse koostise, füüsikaliste omaduste, konkreetsete rakenduste ja eeliste üle pooljuhtide katmisprotsessides ning töötlemise ajal levinud probleemide kohta.