Tööstusuudised

Elektronkiire aurustumine on väga tõhus ja laialdaselt kasutatav kattematerjal, võrreldes takistuse kuumutamisega, mis soojendab aurustumismaterjali elektronkiirega, põhjustades selle aurustumise ja õhukeseks kileks kondenseerudes.

Vaakumkate sisaldab kilematerjali aurustumist, vaakumi transporti ja õhukest kile kasvu. Erinevate kilematerjalide aurustusmeetodite ja transpordiprotsesside kohaselt võib vaakumkatte jagada kahte kategooriasse: PVD ja CVD.

See artikkel kirjeldab Vetek Semiconductori poorse grafiidi füüsilisi parameetreid ja tooteomadusi, aga ka selle konkreetseid rakendusi pooljuhtide töötlemisel.

Selles artiklis analüüsitakse mitmest vaatenurgast tooteomadusi ja rakenduse stsenaariume Tantalumi karbiidi katmise ja räni karbiidi katte.

Õhuke kilede sadestumine on kiibitootmisel ülioluline, luues mikroseadmeid, ladestades kiled 1 mikroni paksuste CVD, ALD või PVD kaudu. Need protsessid ehitavad pooljuhtide komponente vahelduvate juhtivate ja isoleerivate kilede kaudu.

Pooljuhtide tootmisprotsess hõlmab kaheksat etappi: vahvli töötlemine, oksüdeerimine, litograafia, söövitus, õhuke kile ladestumine, ühendamine, testimine ja pakendamine. Liivast pärit räni töödeldakse vahvliteks, oksüdeerub, mustriline ja söövitatakse ülitäpsetele vooluringidele.