Tööstusuudised

Pidevalt arenevas kodu- ja köögimasinate maailmas on üks toode pälvinud hiljuti märkimisväärset tähelepanu oma uuenduste ja praktilise rakenduse tõttu – kvartsist termose ämber.

Quartzi tooteid kasutatakse pooljuhtide tootmisprotsessis laialdaselt tänu nende kõrgele puhtusele, kõrge temperatuuri vastupidavuse ja tugeva keemilise stabiilsuse tõttu.

Ränikarbiid (SIC) kristallkasvu ahjud mängivad olulist rolli järgmise põlvkonna pooljuhtseadmete suure jõudlusega SIC-vahvlite tootmisel. Kvaliteetsete SIC-kristallide kasvatamise protsess on siiski olulisi väljakutseid. Alates äärmuslike termiliste gradientide haldamisest kuni kristallidefektide vähendamise, ühtlase kasvu tagamise ja tootmiskulude kontrollimiseni nõuab iga samm täiustatud tehnilisi lahendusi. Selles artiklis analüüsitakse SIC kristallide kasvu ahjude tehnilisi väljakutseid mitmest vaatenurgast.

Smart Cut on täiustatud pooljuhtide tootmisprotsess, mis põhineb ioonide implantatsioonil ja vahvli eemaldamisel, mis on spetsiaalselt loodud ülikerge ja väga ühtlase 3C-SIC (kuup-räni karbiidi) vahvlite tootmiseks. See võib kanda ülikergeid kristallmaterjale ühest substraadist teise, rikkudes seeläbi algseid füüsilisi piiranguid ja muutes kogu substraadi tööstust.

Kvaliteetsete ja kõrge saagikusega räni karbiidi substraatide valmistamisel nõuab südamik tootmistemperatuuri täpset kontrolli heade soojuselu materjalide abil. Praegu on peamiselt kasutatavad termilise välja tiigli komplektid suure puiduga grafiidi konstruktsioonikomponendid, mille funktsioonid on nii süsinikupulbri ja ränipulbri soojendamine kui ka soojuse säilitamine.

Kui näete kolmanda põlvkonna pooljuhte, mõtlete kindlasti, millised olid esimesed ja teise põlvkonna. Siin on "põlvkond" klassifitseeritud pooljuhtide tootmisel kasutatavate materjalide põhjal.

Elektrostaatiline padrun (ESC), tuntud ka kui elektrostaatiline padrun (ESC, E-Chuck), on kinnitus, mis kasutab adsorbeeritud materjali hoidmiseks ja kinnitamiseks elektrostaatilise adsorptsiooni põhimõtet. See sobib vaakumi- ja plasmakeskkonda.

SIC vahvlite kandjad, kui peamised tarbekaupade kolmanda põlvkonna pooljuhtide tööstusahelas, mõjutavad nende tehnilised omadused otseselt epitaksiaalse kasvu ja seadmete tootmise saagikust. Kuna SIC vahvlite kandjate uurimine ja rakendamine on suurepinge ja kõrge temperatuuriga seadmete nõudlus sellistes tööstusharudes nagu 5G tugijaamad ja uued energiasõidukid, seisavad SIC vahvlite kandjate uurimine ja rakendamine olulised arenguvõimalused.

Alumiiniumoksiidi keraamika on keraamiliste komponentide tootmiseks "tööhobu". Neil on suurepärased mehaanilised omadused, ülikõrgete sulamistemperatuuride ja kõvadus, korrosioonikindlus, tugev keemiline stabiilsus, kõrge vastupidavus ja parem elektriline isolatsioon. Neid kasutatakse tavaliselt poleerimisplaatide, vaakumipartikute, keraamiliste käte ja sarnaste osade valmistamiseks.

Pooljuhtmaterjale saab klassifitseerida kolmeks põlvkonnaks kronoloogilises järjekorras. Esimene põlvkond koosneb tavalistest elementaarsetest materjalidest nagu germaanium ja räni, mida iseloomustab mugav lülitus ja mida kasutatakse tavaliselt integreeritud vooluringides. Teise põlvkonna ühendi pooljuhid, näiteks galliumraseniid ja indiumfosfiidid, kasutatakse peamiselt luminestsentsi- ja kommunikatsioonimaterjalides.

Quartzi seadmed mängivad kriitilist rolli päikeseelementide tootmisel, pakkudes kõrge temperatuuriga protsessides vajalikku erakordset soojustakistust, keemilist puhtust ja struktuurilist stabiilsust. Alates kvartsi difusioonitorudest ja tiiglitest kuni kvartsist paatide ja ahjukomponentideni on need suure puhtusastmega materjalid hädavajalikud difusiooni, CVD ja niiskete söövitustetappide optimaalse efektiivsuse saavutamiseks.

TAC -kate välistab peaaegu täielikult süsiniku kapseldamise nähtuse, eraldades otsese kontakti grafiidi tiigli ja sic -sula vahel, vähendades märkimisväärselt mikroturude defekti tihedust

SIC -keraamika on keraamiline materjal, mis on toodetud räni (SI) ja süsiniku (C) elementide reaktsioonil, millel on äärmiselt kõrge karedus, soojuskindlus ja keemiline stabiilsus

Pooljuhtide valmistamise, täpsuse ja stabiilsuse kõrgete panustega maailmas on kõik-ja just seal astub elektrostaatiline padrun (ESC) sisse. Palju enamat kui lihtsalt hoidmisvahendit, kasutab ESC elektrostaatilisi jõude vahvlite turvaliseks kinnitamiseks kriitiliste protsesside ajal, nagu söövitus, ladestumine ja ioonide implanteerimine. Aga kuidas see tegelikult töötab? Miks on see parem kui traditsiooniline mehaaniline klammerdamine? Ja millist rolli see mängib nanoskaala täpsuse ja läbilaskevõime tõhususe saavutamisel? Tere tulemast lugema.

Elektrostaatilise Chucki dechucki põhimõte on selle töövoo põhiosa, mis hõlmab elektrostaatilise jõu elimineerimise ja vahvli vabanemise mehhanisme.

Klaasist süsinik on graafimata süsinik, mis ühendab klaasi ja keraamika omadused. Sellel on palju omadusi, näiteks kõrge temperatuuri vastupidavus, korrosioonikindlus, hea elektrijuhtivus jne. Selles ajaveebis analüüsitakse klaasise süsiniku uurimistöö ajalugu ja edasist arengut, mida tasub lugeda.