Tööstusuudised

Ränikarbiidkatte servade kollaseks muutumise ja koorumise põhjuste põhjalik analüüs MOCVD epitaksi grafiidisusseptoritel. VeTek kõrvaldas mikrostressi, kontrollides täpselt algset CVD sadestamiskiirust ja vooluvälja, suurendades katte saagist 50%-lt 90%-le ja pikendades kõrge puhtusastmega grafiidist osade kasutusiga.

VeTek Semi parandas sustseptori tasasust kuni 0,08 mm ja vähendas CVD vooluvälja simulatsiooni ja ülitäpse SiC-kattega 0,69% -ni, mis võimaldab mitme taskuga räni epitaksilise grafiidi sustseptorite paksuse 1,4% erinevust, suurendades vahvlite saagist.

Siit saate teada, kuidas Vetek kõrvaldas suurtes MOCVD SiC-kattega grafiidisusseptorites radiaalse pragunemise. Struktuurse pingepuhvri ümberkujundamine ja CTE sobitamine pikendasid kasutusiga 300%+.