Tööstusuudised

Selles artiklis tutvustatakse peamiselt MOCVD -osutaja tooteid, tooteomadusi ja peamisi funktsioone pooljuhtide töötlemisel ning see teeb MOCVD -i vastuvõtjatoodete kui terviku tervikliku analüüsi ja tõlgendamist.

ASM-i jaoks mõeldud SiC-kattega grafiidisustseptor ei ole lihtsalt epitaksiasüsteemi asendusosa. See on protsessi jaoks kriitiline kandja, mis mõjutab termilist ühtlust, vahvlite puhtust, katte vastupidavust, kambri stabiilsust ja pikaajalisi tootmiskulusid.

CVD TaC kattekiht ei ole ainult kaitsekaas või kaetud grafiitkomponent. Kõrge temperatuuriga pooljuhtprotsessides võib see mõjutada kambri puhtust, termilist stabiilsust, osa kasutusiga ja protsessi järjepidevust.

PECVD tootmisel ei alga paljud katmis- ja sadestamisprobleemid plasmavõimsusest ega gaasikeemiast. Need algavad kandjast, mis vahvleid hoiab.

Õige pooljuhtkvartstiigli valimine ei ole ostmisel tühine detail. See mõjutab otseselt sulandi puhtust, termilist stabiilsust, kristallide tõmbamise konsistentsi, saagikuse kontrolli ja kogu kasvuliini teenindusrütmi.

Kõrge puhtusastmega grafiidipulber on muutunud kriitiliseks materjaliks pooljuhtide tootmises, fotogalvaanilises tootmises, täiustatud keraamikas ja kõrgtemperatuurilistes tööstusprotsessides. Kuid mis täpselt määratleb kõrge puhtusastmega grafiidipulbri ja miks see ületab nõudlikes keskkondades standardseid grafiitmaterjale?