Tööstusuudised

SIC -keraamika on keraamiline materjal, mis on toodetud räni (SI) ja süsiniku (C) elementide reaktsioonil, millel on äärmiselt kõrge karedus, soojuskindlus ja keemiline stabiilsus

Pooljuhtide valmistamise, täpsuse ja stabiilsuse kõrgete panustega maailmas on kõik-ja just seal astub elektrostaatiline padrun (ESC) sisse. Palju enamat kui lihtsalt hoidmisvahendit, kasutab ESC elektrostaatilisi jõude vahvlite turvaliseks kinnitamiseks kriitiliste protsesside ajal, nagu söövitus, ladestumine ja ioonide implanteerimine. Aga kuidas see tegelikult töötab? Miks on see parem kui traditsiooniline mehaaniline klammerdamine? Ja millist rolli see mängib nanoskaala täpsuse ja läbilaskevõime tõhususe saavutamisel? Tere tulemast lugema.

Elektrostaatilise Chucki dechucki põhimõte on selle töövoo põhiosa, mis hõlmab elektrostaatilise jõu elimineerimise ja vahvli vabanemise mehhanisme.