Tööstusuudised

Poorne SIC -keraamiline plaat on üks peamisi materjale pooljuhtide tootmise valdkonnas. Oma ainulaadse struktuuri ja suurepäraste füüsiliste omaduste abil on poorne sic -keraamiline ketas muutunud asendamatuks võtmekomponendiks kõrgel temperatuuril ja söövitavates keskkondades. Selles artiklis analüüsime sügavalt selle füüsilisi omadusi, rakenduse stsenaariume ja valiku eeliseid.

Quartzi paat on peamine koormuse kandv komponent, mida kasutatakse pooljuhtide tootmisprotsessis. Seda kasutatakse peamiselt vahvlite kõrgtemperatuuri töötlemiseks, näiteks difusioon, oksüdeerimine ja lõõmutamine. Selle suurepärane termiline stabiilsus, madala reostuse omadused ja korrosioonikindlus muudavad selle pooljuhtide tööstuses hädavajalikuks materjaliks. See artikkel täpsustab materiaalseid, füüsilisi omadusi, klassifitseerimist, kvartspaadi rakendusstsenaariume ja selle erinevusi PECVD grafiitpaadist.

PECVD grafiidipaadi põhimaterjal on kõrge puhtusega isotroopne grafiidimaterjal (puhtus on tavaliselt ≥99,999%), millel on suurepärane elektrijuhtivus, soojusjuhtivus ja tihedus. Võrreldes tavaliste grafiidipaatidega, on PECVD grafiidipaatidel palju füüsilisi ja keemilisi omadusi eeliseid ning neid kasutatakse peamiselt pooljuhtide ja fotogalvaaniliste tööstusharudes, eriti PECVD ja CVD protsessides.