Tööstusuudised

Elektrostaatiline padrun (ESC), tuntud ka kui elektrostaatiline padrun (ESC, E-Chuck), on kinnitus, mis kasutab adsorbeeritud materjali hoidmiseks ja kinnitamiseks elektrostaatilise adsorptsiooni põhimõtet. See sobib vaakumi- ja plasmakeskkonda.

SIC vahvlite kandjad, kui peamised tarbekaupade kolmanda põlvkonna pooljuhtide tööstusahelas, mõjutavad nende tehnilised omadused otseselt epitaksiaalse kasvu ja seadmete tootmise saagikust. Kuna SIC vahvlite kandjate uurimine ja rakendamine on suurepinge ja kõrge temperatuuriga seadmete nõudlus sellistes tööstusharudes nagu 5G tugijaamad ja uued energiasõidukid, seisavad SIC vahvlite kandjate uurimine ja rakendamine olulised arenguvõimalused.

Alumiiniumoksiidi keraamika on keraamiliste komponentide tootmiseks "tööhobu". Neil on suurepärased mehaanilised omadused, ülikõrgete sulamistemperatuuride ja kõvadus, korrosioonikindlus, tugev keemiline stabiilsus, kõrge vastupidavus ja parem elektriline isolatsioon. Neid kasutatakse tavaliselt poleerimisplaatide, vaakumipartikute, keraamiliste käte ja sarnaste osade valmistamiseks.