Tööstusuudised

Pooljuhtide töötlevas tööstuses, kuna seadme suurus kahaneb, on õhukeste kilematerjalide sadestumistehnoloogia esitatud enneolematuid väljakutseid. Aatomkihi sadestumine (ALD) kui õhukese kilede sadestamise tehnoloogia, mis suudab aatomitasandil täpset kontrolli saavutada, on muutunud pooljuhtide tootmise hädavajalikuks osaks. Selle artikli eesmärk on tutvustada ALD protsesside voogu ja põhimõtteid, mis aitavad mõista selle olulist rolli kiibide arenenud tootmisel.

Ideaalne on ehitada integreeritud vooluringid või pooljuhtide seadmed täiuslikule kristalse aluse kihile. Pooljuhtide tootmise protsessi epitaksia (EPI) eesmärk on ühekristallilise substraadile ladestada peen ühekristalliline kiht, tavaliselt umbes 0,5 kuni 20 mikronit. Epitaksia protsess on oluline samm pooljuhtide seadmete valmistamisel, eriti ränivahvlite tootmisel.

Peamine erinevus epitaksia ja aatomkihi ladestumise (ALD) vahel seisneb nende kile kasvumehhanismides ja töötingimustes. Epitaxy viitab kristalse õhukese kile kasvatamise protsessile kristalsel substraadil, millel on konkreetne orientatsioonisuhe, säilitades sama või sarnase kristallstruktuuri. Seevastu ALD on sadestumistehnika, mis hõlmab substraadi paljastamist erinevatele keemilistele eellastele järjestuses, moodustades korraga õhukese kile ühe aatomikihi.

CVD TAC katmine on protsess tiheda ja vastupidava katte moodustamiseks aluspinnale (grafiit). See meetod hõlmab TaC sadestamist substraadi pinnale kõrgel temperatuuril, mille tulemuseks on suurepärase termilise stabiilsuse ja keemilise vastupidavusega tantaalkarbiidist (TaC) kate.