Tööstusuudised

Quartzi tooteid kasutatakse pooljuhtide tootmisprotsessis laialdaselt tänu nende kõrgele puhtusele, kõrge temperatuuri vastupidavuse ja tugeva keemilise stabiilsuse tõttu.

Ränikarbiid (SIC) kristallkasvu ahjud mängivad olulist rolli järgmise põlvkonna pooljuhtseadmete suure jõudlusega SIC-vahvlite tootmisel. Kvaliteetsete SIC-kristallide kasvatamise protsess on siiski olulisi väljakutseid. Alates äärmuslike termiliste gradientide haldamisest kuni kristallidefektide vähendamise, ühtlase kasvu tagamise ja tootmiskulude kontrollimiseni nõuab iga samm täiustatud tehnilisi lahendusi. Selles artiklis analüüsitakse SIC kristallide kasvu ahjude tehnilisi väljakutseid mitmest vaatenurgast.

Smart Cut on täiustatud pooljuhtide tootmisprotsess, mis põhineb ioonide implantatsioonil ja vahvli eemaldamisel, mis on spetsiaalselt loodud ülikerge ja väga ühtlase 3C-SIC (kuup-räni karbiidi) vahvlite tootmiseks. See võib kanda ülikergeid kristallmaterjale ühest substraadist teise, rikkudes seeläbi algseid füüsilisi piiranguid ja muutes kogu substraadi tööstust.