Uudised

Vaakumkate sisaldab kilematerjali aurustumist, vaakumi transporti ja õhukest kile kasvu. Erinevate kilematerjalide aurustusmeetodite ja transpordiprotsesside kohaselt võib vaakumkatte jagada kahte kategooriasse: PVD ja CVD.

See artikkel kirjeldab Vetek Semiconductori poorse grafiidi füüsilisi parameetreid ja tooteomadusi, aga ka selle konkreetseid rakendusi pooljuhtide töötlemisel.

Selles artiklis analüüsitakse mitmest vaatenurgast tooteomadusi ja rakenduse stsenaariume Tantalumi karbiidi katmise ja räni karbiidi katte.